[发明专利]一种3英寸石英晶片双面研磨装置及方法有效

专利信息
申请号: 202110882507.4 申请日: 2021-08-02
公开(公告)号: CN113618623B 公开(公告)日: 2022-07-01
发明(设计)人: 郑嵩;夏良军;刘超 申请(专利权)人: 菲特晶(南京)电子有限公司
主分类号: B24B37/08 分类号: B24B37/08;B24B37/28;B24B37/34;B24B47/12;B24B47/20;B24B55/12;B24B57/02
代理公司: 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 代理人: 朱易顺
地址: 210038 江苏省南京*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 英寸 石英 晶片 双面 研磨 装置 方法
【说明书】:

发明公开了一种3英寸石英晶片双面研磨装置,包括:加工组件,其包括操作台、设置在操作台上的研磨件、以及设置在操作台底部的用于驱动研磨件的驱动件,所述操作台上设有用于对研磨件进行升降的升降件,所述升降件与驱动件之间设有用于连接的连接件;研磨液使用组件,包括设置在操作台底部的用于收集的集料件和设置在升降件上的输料喷嘴。本发明启动伸缩气缸,使得六边形插杆插入插槽中,关闭伸缩气缸,随后启动伺服电机,使得转轴正向转动,带动下研磨板正向转动,同时转轴的转动带动六边形插杆转动,使得第一锥齿轮正向转动,带动第二锥齿轮转动,使得第三锥齿轮反向转动,通过第二连接杆的连接,带动上研磨板反向同速转动。

技术领域

本发明涉及石英晶片加工技术领域,尤其涉及一种3英寸石英晶片双面研磨装置及方法。

背景技术

进入21世纪后,IT资讯革命从类比式进展至数位化,结合无线和有线网络,于各自独立发展的媒体之间,将数据、音乐、音像等大容量资讯透过网路和多种媒体比此可相互使用。水晶制品的石英晶片担任着数位化资讯社会中的的重要零件。

石英晶片在其生产过程中需要对其上下两面进行研磨,然而现有的研磨装置在使用时,因上、下研磨板的转速的不同,可能造成产品研磨面出现两种不同的效果,对生产过程尤为不利,且在研磨过程中研磨液夹带着研磨碎屑,停留在研磨板上,这些研磨碎屑会对石英晶片的表面划伤,影响石英晶片的加工效果。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中“现有的研磨装置在使用时,因上、下研磨板的转速的不同,可能造成产品研磨面出现两种不同的效果,对生产过程尤为不利,且在研磨过程中研磨液夹带着研磨碎屑,停留在研磨板上,这些研磨碎屑会对石英晶片的表面划伤,影响石英晶片的加工效果”的缺陷,从而提出一种3英寸石英晶片双面研磨装置及方法。

为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:

一种英寸石英晶片双面研磨装置,包括:

加工组件,其包括操作台、设置在操作台上的研磨件、以及设置在操作台底部的用于驱动研磨件的驱动件,所述操作台上设有用于对研磨件进行升降的升降件,所述升降件与驱动件之间设有用于连接的连接件;

研磨液使用组件,包括设置在操作台底部的用于收集的集料件和设置在升降件上的输料喷嘴。

优选的,所述研磨件包括下研磨板和上研磨板,所述操作台底部设有矩形开口,所述操作台顶部设有与矩形开口相连通的圆形通口,所述下研磨板设置在圆形通口内,所述圆形通口侧壁上固定连接有环形齿板,所述下研磨板上设有多个与环形齿板相配合的圆形齿板,所述圆形齿板上设有多个用于放置石英晶片的研磨通孔,所述上研磨板设置在下研磨板上方。

优选的,所述驱动件包括伺服电机,所述伺服电机设置在矩形开口底壁上,所述伺服电机输出端固定连接有转轴,所述转轴固定穿插在下研磨板上,所述转轴上固定连接有设置在下研磨板顶壁上的主动齿轮,所述主动齿轮与圆形齿板啮合连接。

优选的,所述升降件包括安装架,所述安装架设置在操作台上,所述安装架上设有伸缩气缸,所述伸缩气缸底端固定连接有连接盘,所述连接盘底面上固定连接有多个第一连接杆,所述第一连接杆滑动连接在上研磨板上。

优选的,所述连接件包括套筒和六边形插杆,所述套筒顶端固定连接在连接盘上,所述连接盘底面转动连接有立杆,所述立杆底端上固定连接有第一锥齿轮,所述第一锥齿轮上开设有插槽,所述套筒内侧壁上固定连接有横杆,所述横杆远离套筒内壁一端上转动连接有第二锥齿轮,所述第二锥齿轮下方设有第三锥齿轮,所述第二锥齿轮分别与第一锥齿轮和第三锥齿轮啮合连接,所述第三锥齿轮上开设有第一连接通孔,所述第三锥齿轮与上研磨板之间固定连接有若干个第二连接杆,所述上研磨板上设有第二连接通孔,所述六边形插杆固定连接在位于套筒下方的转轴顶端上,所述六边形插杆分别与第二连接通孔、第一连接通孔和插槽相配合。

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