[发明专利]一种3英寸石英晶片双面研磨装置及方法

权利要求书

1.一种3英寸石英晶片双面研磨装置，其特征在于，包括：

加工组件，其包括操作台(101)、设置在操作台(101)上的研磨件(100)、以及设置在操作台(101)底部的用于驱动研磨件(100)的驱动件(200)，所述操作台(101)上设有用于对研磨件(100)进行升降的升降件(300)，所述升降件(300)与驱动件(200)之间设有用于连接的连接件(400)；

研磨液使用组件，包括设置在操作台(101)底部的用于收集的集料件(500)和设置在升降件(300)上的输料喷嘴(601)；

所述研磨件(100)包括下研磨板(103)和上研磨板(108)，所述操作台(101)底部设有矩形开口(107)，所述操作台(101)顶部设有与矩形开口(107)相连通的圆形通口(102)，所述下研磨板(103)设置在圆形通口(102)内，所述圆形通口(102)侧壁上固定连接有环形齿板(104)，所述下研磨板(103)上设有多个与环形齿板(104)相配合的圆形齿板(105)，所述圆形齿板(105)上设有多个用于放置石英晶片的研磨通孔(106)，所述上研磨板(108)设置在下研磨板(103)上方；

所述驱动件(200)包括伺服电机(201)，所述伺服电机(201)设置在矩形开口(107)底壁上，所述伺服电机(201)输出端固定连接有转轴(202)，所述转轴(202)固定穿插在下研磨板(103)上，所述转轴(202)上固定连接有设置在下研磨板(103)顶壁上的主动齿轮(203)，所述主动齿轮(203)与圆形齿板(105)啮合连接；

所述升降件(300)包括安装架(301)，所述安装架(301)设置在操作台(101)上，所述安装架(301)上设有伸缩气缸(302)，所述伸缩气缸(302)底端固定连接有连接盘(303)，所述连接盘(303)底面上固定连接有多个第一连接杆(304)，所述第一连接杆(304)滑动连接在上研磨板(108)上；

所述连接件(400)包括套筒(401)和六边形插杆(410)，所述套筒(401)顶端固定连接在连接盘(303)上，所述连接盘(303)底面转动连接有立杆(402)，所述立杆(402)底端上固定连接有第一锥齿轮(403)，所述第一锥齿轮(403)上开设有插槽(404)，所述套筒(401)内侧壁上固定连接有横杆(405)，所述横杆(405)远离套筒(401)内壁一端上转动连接有第二锥齿轮(406)，所述第二锥齿轮(406)下方设有第三锥齿轮(407)，所述第二锥齿轮(406)分别与第一锥齿轮(403)和第三锥齿轮(407)啮合连接，所述第三锥齿轮(407)上开设有第一连接通孔(408)，所述第三锥齿轮(407)与上研磨板(108)之间固定连接有若干个第二连接杆(409)，所述上研磨板(108)上设有第二连接通孔(411)，所述六边形插杆(410)固定连接在位于套筒(401)下方的转轴(202)顶端上，所述六边形插杆(410)分别与第二连接通孔(411)、第一连接通孔(408)和插槽(404)相配合；

所述集料件(500)包括导流板(503)，所述导流板(503)设置在圆形通口(102)下方，且导流板(503)呈倾斜设置，所述导流板(503)与操作台(101)之间固定连接有第一环形板(501)，所述第一环形板(501)上开设有出料口(504)，所述第一环形板(501)内部的导流板(503)上固定连接有第二环形板(502)，所述第二环形板(502)转动连接在下研磨板(103)上，所述下研磨板(103)上设有若干个出料通道(505)，所述出料通道(505)的内底壁呈倾斜设置，所述矩形开口(107)底壁上设有收集箱(506)，所述收集箱(506)位于出料口(504)下方。

2.根据权利要求1所述的一种3英寸石英晶片双面研磨装置，其特征在于，所述输料喷嘴(601)固定穿插在连接盘(303)上，且输料喷嘴(601)上设有用于与外界输液设备连接用的输液管，所述上研磨板(108)上设有若干个输液孔，所述输液孔与输料喷嘴(601)相配合。

3.根据权利要求1-2中任意一项所述的一种3英寸石英晶片双面研磨装置的使用方法，其特征在于，具体包括以下步骤：

1)使用时，将待研磨的石英晶片放入研磨通孔(106)内，同时将输液管与外界输液设备进行连接；

2)启动伸缩气缸(302)，使得伸缩气缸(302)底端下降，带动连接盘(303)与上研磨板(108)一起向下运动，使得六边形插杆(410)穿过第二连接通孔(411)和第一连接通孔(408)，插入插槽(404)中，关闭伸缩气缸(302)；

3)通过输料喷嘴(601)向上研磨板(108)喷洒研磨液；

4)启动伺服电机(201)，使得转轴(202)正向转动，带动下研磨板(103)正向转动，同时转轴(202)的转动带动六边形插杆(410)转动，使得第一锥齿轮(403)正向转动，带动第二锥齿轮(406)转动，使得第三锥齿轮(407)反向转动，通过第二连接杆(409)的连接，带动上研磨板(108)反向转动，同时转轴(202)的转动带动主动齿轮(203)进行转动，使得圆形齿板(105)发生转动且在下研磨板(103)上进行运动，通过上研磨板(108)与下研磨板(103)的相互配合对圆形齿板(105)内的石英晶片进行研磨；

5)研磨的同时，研磨液通过上研磨板(108)上的输液孔向下流动，使用完的研磨液夹带着研磨产生的碎屑进入出料通道(505)内，随着下研磨板(103)的转动，在离心力的作用下，研磨液与碎屑向圆形通口(102)侧壁方向运动，掉落至导流板(503)上，随后顺着导流板(503)通过出料口(504)排出至收集箱(506)内，方便工作人员对使用后的研磨液进行收集。