[发明专利]一种适用于12寸半导体晶棒线切工序翻转机装置

权利要求书

1.一种适用于12寸半导体晶棒线切工序翻转机装置，包括机柜(7)，其特征在于：所述机柜(7)的内部通过隔板(8)间隔设置有设备空间(9)，所述机柜(7)靠近底部的设备空间(9)内侧设置有货叉式升降机构(4)，所述货叉式升降机构(4)上方的设备空间(9)内侧设置有滚笼翻转机构(3)，所述滚笼翻转机构(3)的上方设置有滚笼(17)，所述滚笼(17)的一侧设置有人工上料机构(1)，所述人工上料机构(1)的上方设置有料座定位夹紧机构(2)，所述机柜(7)的一侧设置有AGV物料对接机构(5)。

2.根据权利要求1所述的一种适用于12寸半导体晶棒线切工序翻转机装置，其特征在于：所述AGV物料对接机构(5)的底部四个边角处皆固定安装有万向轮(12)，且机柜(7)的底部四个边角处皆固定安装有定位脚杯(10)。

3.根据权利要求1所述的一种适用于12寸半导体晶棒线切工序翻转机装置，其特征在于：所述机柜(7)靠近底部的一侧设置有盖板(14)，且盖板(14)的表面固定安装有把手(13)。

4.根据权利要求1所述的一种适用于12寸半导体晶棒线切工序翻转机装置，其特征在于：所述机柜(7)的顶部一侧固定安装有立杆(15)，且立杆(15)的顶端固定安装有指示灯(6)。

5.根据权利要求1所述的一种适用于12寸半导体晶棒线切工序翻转机装置，其特征在于：所述机柜(7)靠近顶部的一侧固定安装有连接板(16)，且连接板(16)的表面嵌入固定安装有控制面板(11)。

6.根据权利要求1所述的一种适用于12寸半导体晶棒线切工序翻转机装置，其特征在于：所述货叉式升降机构(4)、滚笼翻转机构(3)和料座定位夹紧机构(2)的输入端皆通过导线与外接电源电性连接。