[发明专利]阵列基板、显示面板、显示装置及阵列基板的制作方法有效
| 申请号: | 202110876082.6 | 申请日: | 2021-07-30 |
| 公开(公告)号: | CN113745242B | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
| 发明(设计)人: | 李源规;卢正权;袁海江 | 申请(专利权)人: | 惠科股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L27/32;H01L21/84 |
| 代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 晏波 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道石龙社区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 阵列 显示 面板 显示装置 制作方法 | ||
1.一种阵列基板,包括依次层叠设置的基板层、钝化层和滤光层,其特征在于,所述基板层包括基板和薄膜晶体管层,所述薄膜晶体管层设于所述基板上,所述钝化层覆盖于所述基板和所述薄膜晶体管层上,所述滤光层设于钝化层上且和所述薄膜晶体管层错开设置,所述钝化层面对滤光层的一侧设置为凹凸结构,所述凹凸结构由在所述钝化层底部间隔设置的多个凹槽形成;所述凹槽的横截面呈梯形,所述凹槽的底边边长为0μm~2μm,相邻两个所述凹槽的间距为0μm~2μm,所述凹槽的高度小于所述钝化层最大厚度的三分之一;以使得从所述滤光层入射至所述钝化层的光线在所述凹凸结构上发生扩散和衍射。
2.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述梯形斜边的倾斜角为30~60度。
3.一种显示面板,所述显示面板包括封装层和OLED发光层,其特征在于,还包括权利要求1或2所述的阵列基板,所述OLED发光层面对所述阵列基板设置,所述封装层设置于所述OLED发光层背靠所述阵列基板的一侧。
4.一种显示装置,其特征在于,所述显示装置包括如权利要求3所述的一种显示面板以及背板,所述显示面板设置于所述背板上。
5.一种阵列基板的制作方法,所述阵列基板的制作方法用于制作权利要求1或2所述的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板的制作方法包括:
在所述基板层上沉积平整的钝化层;
在所述钝化层上设置光刻胶层;
对所述平整的钝化层未覆盖光刻胶层的位置进行第一次蚀刻处理;
对所述光刻胶层进行干灰化法处理;
对所述钝化层进行第二次蚀刻处理;
去除所述光刻胶层以形成具有凹凸结构的钝化层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





