[发明专利]检查装置的控制方法以及检查装置

权利要求书

1.一种检查装置的控制方法,该检查装置包括:

载置台,其用于载置具有多个被检查体的基板,并且形成有多个分区；以及

加热部,其能够针对各个上述分区进行升温控制,

该检查装置的控制方法具有如下工序:

在对多个上述被检查体中的检查对象的第一被检查体进行检查时,通过上述加热部使与上述第一被检查体对应的分区、以及与下一个检查对象的第二被检查体对应的分区升温。

2.根据权利要求1所述的检查装置的控制方法,其中,

上述第二被检查体在上述基板之上配置于上述第一被检查体的旁边。

3.根据权利要求1或2所述的检查装置的控制方法,其中,

上述检查装置包括用于对上述被检查体的温度进行检测的温度传感器,

在对与上述被检查体对应的分区进行升温时,基于由上述温度传感器检测的上述被检查体的温度,以上述被检查体的温度成为目标温度的方式对上述加热部进行控制。

4.根据权利要求3所述的检查装置的控制方法,其中,还具有如下工序：

若上述被检查体的温度于目标温度稳定后经过阈值时间,则判定上述被检查体的基于热膨胀的位移稳定。

5.根据权利要求4所述的检查装置的控制方法,其中,还具有如下工序：

若判定上述被检查体的基于热膨胀的位移稳定,则进行上述被检查体的对准。

6.根据权利要求5所述的检查装置的控制方法,其中,

上述检查装置包括用于与检查对象的上述被检查体接触的探针,并且

上述检查装置的控制方法还具有如下工序：

在上述被检查体的对准之后,使上述被检查体与上述探针接触。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的检查装置的控制方法,其中,

上述加热部是使光进行照射而对上述载置台进行加热的光照射机构。

8.根据权利要求7所述的检查装置的控制方法,其中,

上述光照射机构具有LED作为光源。

9.一种检查装置,包括:

载置台,其用于载置具有多个被检查体的基板,并且形成有多个分区；

加热部,其能够针对各个上述分区进行升温控制；以及

控制部,其用于对上述加热部进行控制,

上述控制部在使与多个上述被检查体中的检查对象的第一被检查体对应的分区升温而对上述第一被检查体进行检查时,使与多个上述被检查体中的下一个检查对象的第二被检查体对应的分区升温。