[发明专利]一种芯片封装用排片机及使用方法有效
申请号: | 202110865131.6 | 申请日: | 2021-07-29 |
公开(公告)号: | CN113675130B | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 鲍承林;姜政 | 申请(专利权)人: | 江苏美斯其新材料科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/677;H01L21/67;H01L21/58 |
代理公司: | 北京棘龙知识产权代理有限公司 11740 | 代理人: | 张开 |
地址: | 221000 江苏省徐州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 封装 用排片机 使用方法 | ||
1.一种芯片封装用排片机,包括支撑座(1)、固定板(6)和放置座(7),其特征在于,还包括:
第三电机(8),固定连接在所述放置座(7)上;
第三丝杆(801),固定连接在所述第三电机(8)的输出端;
夹座(13),螺纹连接在所述第三丝杆(801)上;
调节板(14),可拆卸连接在所述夹座(13)上;
L型调整杆(10),滑动连接在所述固定板(6)上;
真空吸盘(17),可拆卸连接在所述L型调整杆(10)上;
固定杆(11),固定连接在所述L型调整杆(10)上;
滚轴(12),转动连接在所述固定杆(11)上;
其中,所述调节板(14)滑动连接在所述固定板(6)上,所述固定板(6)上设有第一调整槽(9),所述调节板(14)上设有第二调整槽(15),所述第二调整槽(15)设有多组,且所述调节板(14)两侧的第二调整槽(15)为倾斜设计,所述固定杆(11)和滚轴(12)均为对称设计的两个,两个所述固定杆(11)和滚轴(12)分别置于第一调整槽(9)和第二调整槽(15)内;所述真空吸盘(17)与L型调整杆(10)通过螺母(19)相连,所述真空吸盘(17)滑动连接在L型调整杆(10)上,所述真空吸盘(17)上套接有弹簧(18),所述弹簧(18)两端分别与L型调整杆(10)和真空吸盘(17)的外壁相抵;所述支撑座(1)上固定连接有第一固定座(2),所述第一固定座(2)上可拆卸连接有第一电机(3),所述第一固定座(2)上滑动连接有第二固定座(4),所述第二固定座(4)上可拆卸连接有第二电机(5),所述固定板(6)滑动连接在第二固定座(4)上。
2.根据权利要求1所述的一种芯片封装用排片机,其特征在于,所述第一电机(3)与第一固定座(2)通过第二螺栓(301)相连,所述第二电机(5)与第二固定座(4)通过第三螺栓(501)相连,所述支撑座(1)上设有第一螺栓(101)。
3.根据权利要求1所述的一种芯片封装用排片机,其特征在于,所述第一电机(3)输出端固定连接有第一丝杆(302),所述第二电机(5)输出端固定连接有第二丝杆(502),所述第二固定座(4)上固定连接有第一滑块(401),所述固定板(6)上固定连接有第二滑块(601),所述第一滑块(401)螺纹连接在第一丝杆(302)上,所述第二滑块(601)螺纹连接在第二丝杆(502)上。
4.根据权利要求3所述的一种芯片封装用排片机,其特征在于,所述第一固定座(2)上设有第一滑道(201),所述第二固定座(4)上设有第二滑道(402),所述第一滑块(401)滑动连接在第一滑道(201)内,所述第二滑块(601)滑动连接在第二滑道(402)内。
5.根据权利要求1所述的一种芯片封装用排片机,其特征在于,所述固定板(6)上设有第三滑道(602)和第四滑道(603),所述L型调整杆(10)上固定连接有第三滑块(1001),所述第三滑块(1001)滑动连接在第三滑道(602)内,所述调节板(14)上固定连接有第四滑块(1401),所述第四滑块(1401)滑动连接在第四滑道(603)内。
6.根据权利要求1所述的一种芯片封装用排片机,其特征在于,所述调节板(14)与夹座(13)通过第四螺栓(16)相连。
7.一种芯片封装用排片机的操作方法,包括权利要求1所述的一种芯片封装用排片机,其特征在于,采用以下步骤操作:
S1:启动第一电机(3)和第三电机(8)反转;
S2:第一电机(3)带动第二固定座(4)向第一电机(3)的方向移动,第三电机(8)带动调节板(14)向下运动;
S3:L型调整杆(10)两侧的固定杆(11)上的滚轴(12)在第二调整槽(15)和第一调整槽(9)内转动,第二调整槽(15)内的固定杆(11)置于第二调整槽(15)的最底端,L型调整杆(10)上的真空吸盘(17)之间的间距最小;
S4:启动第二电机(5)反转,第二电机(5)带动固定板(6)向下运动,固定板(6)向下运动时真空吸盘(17)与运输盒内的芯片相贴,将运输盒内的芯片吸附在真空吸盘(17)上;
S5:启动第二电机(5)正转,第二电机(5)上的第二丝杆(502)带动固定板(6)上升高度,将芯片从运输盒内取出;
S6:启动第一电机(3)和第三电机(8)正转;
S7:第一电机(3)上的第一丝杆(302)带动第二固定座(4)向远离第一电机(3)的方向移动,将芯片带动到处于基座的正上方;
S8:第三电机(8)带动调节板(14)上升高度,第二调整槽(15)内的固定杆(11)置于第二调整槽(15)的最顶端,L型调整杆(10)上的真空吸盘(17)之间的间距最大;
S9:启动第二电机(5)反转,第二电机(5)上的第二丝杆(502)带动固定板(6)再次下降高度,将真空吸盘(17)上的芯片放置在封装基座上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造