[发明专利]一种压力控制装置及系统

说明书

本发明公开了一种压力控制装置及系统，包括：汇流板和至少一组阀体模组，其中，所述阀体模组中的每一个电子元器件与所述汇流板连接，所述汇流板上设置有信号接口，用于与外部I/O采集模块连接。通过实施本发明，解决了压力控制装置在进行输入输出信号时，接线繁多，不易维护以及在更换I/O采集模块后需要重新布线，兼容性差的问题。

技术领域

本发明涉及压力控制技术领域，具体涉及一种压力控制装置及系统。

背景技术

在对晶圆进行抛光工艺过程中，需要对晶圆背面施加压力，使晶圆正面与抛光垫充分接触进行抛光或者是工艺完毕后将正压力切换为负压力，使晶圆吸附在承载台上进行传输。完成上述过程的压力控制装置通常由电磁阀、电气比例阀和气压压力传感器等多个电子元器件组成，如图1所示的压力控制装置由4个通道的阀体模组组成，每个通道的阀体模组包括4个电磁阀、1个电气比例阀和1个气压压力传感器。

由于现有的压力控制装置需要将每个通道的电子元器件连接到外部I/O采集模块，这种连接方式接线繁多、不易维护，且在更换I/O采集模块后需要重新布线，兼容性差。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中接线繁多、不易维护的缺陷，从而提供一种压力控制装置及系统。

根据第一方面，本发明实施例公开了一种压力控制装置，该系统包括：汇流板和至少一组阀体模组，其中，所述阀体模组中的每一个电子元器件与所述汇流板连接，所述汇流板上设置有信号接口，用于与外部I/O采集模块连接。

可选地，所述汇流板还设置有电源接口，用于通过接入的电源驱动汇流板和阀体模组中电子元器件。

可选地，所述压力控制装置还包括显示模块，用于显示每一组阀体模组所在通道的运行状态信息。

可选地，所述每一组阀体模组所在通道的运行状态信息包括通道的运行模式，所述运行模式包括压力控制模式、真空控制模式，大气控制模式以及保压控制模块中的任意一种。

可选地，所述显示模块为LED显示模块。

可选地，所述压力控制装置包括4组阀体模组。

可选地，每一组阀体模组包括4个电磁阀、1个电气比例阀和1个气压压力传感器。

可选地，所述汇流板沿高度方向设置在所述阀体模组上方。

根据第二方面，本发明实施例还公开了一种压力控制系统，该系统包括：如第一方面及第一方面任一可选实施例所述的压力控制装置；I/O采集模块，与所述压力控制装置连接，用于向外部设备传输压力控制装置的当前工作状态信息，以及接收外部设备传输的工作指令信息。

可选地，所述系统还包括：控制器，与所述I/O采集模块，用于向所述压力控制装置下发工作指令信息。

本发明技术方案，具有如下优点：

本发明提供的压力控制装置及系统，包括：汇流板和至少一组阀体模组，其中，所述阀体模组中的每一个电子元器件与所述汇流板连接，所述汇流板上设置有信号接口，用于与外部I/O采集模块连接。通过实施本发明，将阀体模组的电子元器件与汇流板连接，通过汇流板直接与外部I/O采集模块连接实现信号传输，相比于现有技术中直接将电子元器件与外部I/O采集模块连接，减少了阀体模组在进行信号传输的布线难度，在更换外部I/O采集模块时，不需要重新布线、易维护、兼容性高。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明现有技术中一个具体实施例的连接框图；