[发明专利]一种压力控制装置及系统在审
申请号: | 202110859846.0 | 申请日: | 2021-07-28 |
公开(公告)号: | CN113568444A | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 王嘉琪;张为强 | 申请(专利权)人: | 北京烁科精微电子装备有限公司 |
主分类号: | G05D16/20 | 分类号: | G05D16/20 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 王娜 |
地址: | 100176 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 压力 控制 装置 系统 | ||
1.一种压力控制装置,其特征在于,包括:汇流板和至少一组阀体模组,其中,所述阀体模组中的每一个电子元器件与所述汇流板连接,所述汇流板上设置有信号接口,用于与外部I/O采集模块连接。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述汇流板还设置有电源接口,用于通过接入的电源驱动汇流板和阀体模组中电子元器件。
3.根据权利要求1或2所述的装置,其特征在于,所述压力控制装置还包括显示模块,用于显示每一组阀体模组所在通道的运行状态信息。
4.根据权利要求3所述的装置,其特征在于,所述每一组阀体模组所在通道的运行状态信息包括通道的运行模式,所述运行模式包括压力控制模式、真空控制模式,大气控制模式以及保压控制模块中的任意一种。
5.根据权利要求3所述的装置,其特征在于,所述显示模块为LED显示模块。
6.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述压力控制装置包括4组阀体模组。
7.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,每一组阀体模组包括4个电磁阀、1个电气比例阀和1个气压压力传感器。
8.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述汇流板沿高度方向设置在所述阀体模组上方。
9.一种压力控制系统,其特征在于,包括:
如权利要求1-8中任一项所述的压力控制装置;
I/O采集模块,与所述压力控制装置连接,用于向外部设备传输压力控制装置的当前工作状态信息,以及接收外部设备传输的工作指令信息。
10.根据权利要求9所述的系统,其特征在于,所述系统还包括:控制器,与所述I/O采集模块,用于向所述压力控制装置下发工作指令信息。
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