[发明专利]一种蒸镀机电极的支撑装置及用途

说明书

本发明提供了一种蒸镀机电极的支撑装置及用途，所述的支撑装置包括至少一个支撑件，所述蒸镀机内壁周向设置有支撑件，用于将电极固定并支撑于蒸镀机上，所述支撑件的表面涂覆有镍铁氟龙层。在本发明中，在支撑装置表面镀镍铁氟龙层，使铁氟龙微粒进入镍磷合金镀层，极大的改善镍磷镀层的化学性能，增加化学镍镀层的耐蚀性和耐酸碱特性，并且镀层的摩擦系数大幅降低，从而大幅改善金属材料的性能，使得零部件减少腐蚀、磨损，不易损坏。

技术领域

本发明属于蒸镀工艺技术领域，涉及电极的支撑装置，尤其涉及一种蒸镀机电极的支撑装置及用途。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)面板蒸镀工艺，是将玻璃基板放入真空室内，加热膜料使膜料蒸发，气化为具有一定能量(0.1～0.3eV)的粒子(原子、分子或原子团)。气态粒子以基本无碰撞的直线运动飞速传送至玻璃基板，到达玻璃基板表面的粒子一部分被反射，另一部分吸附在玻璃基板上并发生表面扩散，沉积原子之间产生二维碰撞，形成簇团。粒子簇团不断地与扩散粒子相碰撞，或吸附单粒子，或放出单粒子。此过程反复进行，当聚集的粒子数超过某一临界值时就变为稳定的核，再继续吸附扩散粒子而逐步长大，最终通过相邻稳定核的接触、合并，在玻璃基板表面形成连续薄膜。

CN109002063A公开了一种角度自动调节的等离子体激励器支撑装置，包括：支撑柱，其竖直间隔设置，所述支撑柱高度能够调节；从动轮，其可旋转设置在所述支撑柱相对侧上部且所述从动轮相对设置；主动轮，其可旋转设置在所述从动轮正上方的支撑柱上且所述主动轮相对设置，所述主动轮与所述从动轮啮合传动；第一支撑杆，其两端固定连接相对设置的所述从动轮中心处；第二支撑杆，其两端偏心连接相对设置的所述从动轮，且所述第二支撑杆与所述第一支撑杆平行；动力机构，其固定设置在所述支撑柱顶端，且输出端与所述主动轮中心固定连接，用于驱动所述主动轮旋转。该发明还提供一种角度自动调节的等离子体激励器支撑装置的控制方法。

CN108506399B公开了一种基于介电弹性体的可调刚度支撑装置，包括：基座及与之相连的弹性悬臂梁和介电弹性体索带，其中：弹性悬臂梁与介电弹性体索带相连，弹性悬臂梁和介电弹性体索带的另一端分别与基座相连，检测仪器设置于弹性悬臂梁上，其中：介电弹性体索带由弹性体膜和柔性电极组成，该发明结构结构简单、响应快、控制方便、功耗低，可通过对介电弹性体索带施加电压控制结构的刚度和阻尼，从而实现较宽工作频带内的振动控制。

CN205398755U公开了一种用于电泳的电极装置。其包括电极管以及固定该电极管的固定架，所述电极管外周套设有夹紧环，所述夹紧环与电极管之间套设有第一绝缘套，所述电极管上部设置有电源接线柱，所述电源接线柱通过电源线与电极夹连接；所述固定架与夹紧环之间固定连接，所述固定架外周设置有用于将电极管支撑在油箱口处的支撑装置。该实用新型中通过将电极管与固定架固定连接，在固定架外周设置支撑装置，能够使电极管悬空被支撑在油箱口上方，同时固定架、支撑装置结构简单，体积小。

现有电极支撑垫，采用铝型材阳极氧化方式进行抗腐蚀处理，在高温环境下，电极和支撑垫之间摩擦后，零件容易磨损，磨损过程中产生的粉尘，会沉积在玻璃基板表面，导致玻璃基板被粉尘沾染，产生短路或异物不良，从而影响到液晶面板良率，因此，亟需开发设计一种蒸镀机电极的支撑装置。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种蒸镀机电极的支撑装置及用途，在本发明中，在支撑装置表面镀镍铁氟龙层，使铁氟龙微粒进入镍磷合金镀层，极大的改善镍磷镀层的化学性能，增加化学镍镀层的耐蚀性和耐酸碱特性，并且镀层的摩擦系数大幅降低，从而大幅改善金属材料的性能，使得零部件减少腐蚀、磨损，不易损坏。

第一方面，本发明提供了一种蒸镀机电极的支撑装置，所述的支撑装置包括至少一个支撑件，所述蒸镀机内壁周向设置有支撑件，用于将电极固定并支撑于蒸镀机上，所述支撑件的表面涂覆有镍铁氟龙层。