[发明专利]一种蒸镀机电极的支撑装置及用途在审
| 申请号： | 202110844976.7 | 申请日： | 2021-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN113564557A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;赵丽;陈会兵;陈敏 | 申请（专利权）人： | 广东江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24;C23C18/16;C23C18/32 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 516001 广东省惠州市惠州仲恺高新区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 机电 支撑 装置 用途 | ||
1.一种蒸镀机电极的支撑装置，其特征在于，所述的支撑装置包括至少一个支撑件，所述蒸镀机内壁周向设置有支撑件，用于将电极固定并支撑于蒸镀机上，所述支撑件的表面涂覆有镍铁氟龙层。
2.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述的支撑件的数量为2～4个。
3.根据权利要求1或2所述的支撑装置，其特征在于，所述的支撑件材质为铝合金。
4.根据权利要求1-3任一项所述的支撑装置，其特征在于，所述的支撑件包括竖向垫和横向垫，所述的竖向垫和横向垫呈十字相嵌结构；
优选地，所述竖向垫的厚度为12～15mm；
优选地，所述竖向垫的宽度为17～20mm；
优选地，所述横向垫的厚度为12～15mm；
优选地，所述横向垫的宽度为17～20mm。
5.根据权利要求1-4任一项所述的支撑装置，其特征在于，所述的支撑件十字相嵌结构每一端中部均设置有阶梯螺纹孔，所述阶梯螺纹孔配合螺母使用，用于将支撑件固定在蒸镀机上；
优选地，所述每一个阶梯螺纹孔均包括由下至上依次堆叠设置的大孔和小孔；
优选地，所述大孔的直径为9～12mm；
优选地，所述大孔的高度为7～9mm；
优选地，所述小孔的直径为5～7mm；
优选地，所述小孔的高度为5～7mm。
6.根据权利要求1-5任一项所述的支撑装置，其特征在于，所述的竖向垫和横向垫的交叉处为圆弧形；
优选地，所述竖向垫和横向垫边缘的倒角均为45°；
优选地，所述的阶梯螺纹孔的圆心位于同一圆周上，所述圆周直径为34～38mm。
7.根据权利要求1-6任一项所述的支撑装置，其特征在于，所述的竖向垫和横向垫相嵌处沿厚度方向开设有螺杆套；
优选地，所述的螺杆套中部设置有螺纹柱，所述的无尾钢套旋合安装于螺杆套和螺纹柱之间；
优选地，所述螺杆套的外直径为18～20mm；
优选地，所述螺杆套的高度为17～19mm。
8.根据权利要求1-7任一项所述的支撑装置，其特征在于，所述的竖向垫或横向垫的内部沿长度方向开设有贯穿的通槽；
优选地，所述通槽的直径为3～5mm。
9.根据权利要求1-8任一项所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑装置的质量为43～58g；
优选地，所述支撑装置的表面粗糙度不高于Ra1.6。
10.一种权利要求1-9任一项所述的支撑装置的用途，其特征在于，所述的支撑装置用于将电极固定并支撑于蒸镀机上。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东江丰电子材料有限公司，未经广东江丰电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110844976.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种显示面板和显示装置
- 下一篇：一种具有耐高温性能的塑料薄膜及其制备方法
- 同类专利
- 专利分类
