[发明专利]一种钽靶材反溅射层的加工方法在审
| 申请号： | 202110844966.3 | 申请日： | 2021-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN113846299A | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C4/02;B24C1/06 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 钽靶材反 溅射 加工 方法 | ||
1.一种钽靶材反溅射层的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括在所述反溅射层依次进行喷砂处理和熔射处理。
2.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述熔射处理得到的熔射层的厚度为0.13～0.25mm。
3.根据权利要求1或2所述的加工方法，其特征在于，所述熔射处理得到的熔射层的粗糙度Ra为12.70～22.86μm。
4.根据权利要求1-3任一项所述的加工方法，其特征在于，所述喷砂处理得到的喷砂层的粗糙度Ra为5.08～7.62μm。
5.根据权利要求1-4任一项所述的加工方法，其特征在于，所述喷砂处理的原料为46#白刚玉。
6.根据权利要求1-5任一项所述的加工方法，其特征在于，所述喷砂处理中喷砂枪与靶材的距离为80～100mm。
7.根据权利要求1-6任一项所述的加工方法，其特征在于，所述喷砂处理中的空气压力为5.5～6.0kg。
8.根据权利要求1-7任一项所述的加工方法，其特征在于，所述喷砂处理的时间为2～4min。
9.根据权利要求1-8任一项所述的加工方法，其特征在于，所述喷砂处理中喷砂枪的扫描方式为平面型扫描。
10.根据权利要求1-9任一项所述的加工方法，其特征在于，所述加工方法为在所述反溅射层依次进行喷砂处理和熔射处理；
所述喷砂处理的原料为46#白刚玉，喷砂枪与靶材的距离为80～100mm，空气压力为5.5～6.0kg，喷砂枪在喷砂区域平面型扫描，时间为2～4min，得到的喷砂层的粗糙度Ra为5.08～7.62μm；
所述熔射处理得到的熔射层的厚度为0.13～0.25mm，粗糙度Ra为12.70～22.86μm。
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