[发明专利]一种太阳能电池及其制造方法

权利要求书

1.一种太阳能电池的制造方法，其特征在于，包括：

对N型硅片的第一方向的一面进行硼扩散处理，在所述N型硅片的第一方向的一面上形成依次层叠的扩散层和硼硅玻璃层、以及在所述N型硅片的侧面和第二方向的一面上依次形成层叠的绕镀扩散层和绕镀硼硅玻璃层；

依次去除所述绕镀硼硅玻璃层和所述绕镀扩散层；并对所述N型硅片的第二方向的一面进行制绒处理，在所述N型硅片的第二方向的一面上形成绒面结构；

对所述绒面结构进行顶部平坦化处理，以在所述N型硅片的第二方向的一面上获得顶部平坦的凸起结构。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，所述依次去除所述绕镀硼硅玻璃层和所述绕镀扩散层；并对所述N型硅片的第二方向的一面进行制绒处理，在所述N型硅片的第二方向的一面上形成绒面结构，包括：

利用链式清洗设备，并采用酸性清洗溶液去除所述绕镀硼硅玻璃层；

利用槽式清洗设备，并采用第一碱性清洗溶液去除所述绕镀扩散层、以及对所述N型硅片的第二方向的一面进行所述制绒处理。

3.根据权利要求2所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，所述第一碱性清洗溶液为水、氢氧化钾和制绒添加剂的混合溶液；所述水、所述氢氧化钾和所述制绒添加剂的体积比为：354:5.5:2；和/或，

采用所述第一碱性清洗溶液去除所述绕镀扩散层、以及对所述N型硅片的第二方向的一面进行所述制绒处理的处理条件为：所述第一碱性清洗溶液的温度为77℃～83℃，工艺时间为355s～365s。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，所述绒面结构为金字塔型绒面结构；所述凸起结构为棱台型凸起结构。

5.根据权利要求4所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，所述对所述绒面结构进行顶部平坦化处理，包括：

利用槽式清洗设备，并采用第二碱性清洗溶液刻蚀所述金字塔型绒面结构的顶部。

6.根据权利要求5所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，所述第二碱性清洗溶液为水、氢氧化钾和抛光添加剂的混合溶液；所述水、所述氢氧化钾和所述抛光添加剂的体积比为340:16:3～5；和/或，

采用所述第二碱性清洗溶液刻蚀所述金字塔型绒面结构的顶部的刻蚀条件为：所述第二碱性清洗溶液的温度为57℃～63℃，工艺时间为55s～65s。

7.根据权利要求1～6任一项所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，所述对所述绒面结构进行顶部平坦化处理后，所述太阳能电池的制造方法还包括：

在经所述顶部平坦化处理后的N型硅片的第二方向的一面上形成钝化接触结构；所述钝化接触结构包括依次层叠设置的遂穿氧化层和掺杂硅层；

在所述扩散层上形成第一钝化层；

在所述第一钝化层和所述掺杂硅层上分别进行钝化处理，以在所述第一钝化层和所述掺杂硅层上均形成第二钝化层；所述第二钝化层的材质与所述第一钝化层的材质不同；

在每面所述第二钝化层上进行金属化处理，以在所述第二钝化层上形成电极。

8.根据权利要求7所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，所述在经所述顶部平坦化处理后的N型硅片的第二方向的一面上形成钝化接触结构，包括：

采用钝化接触工艺对经所述顶部平坦化处理后的N型硅片的第二方向的一面进行处理，在经所述顶部平坦化处理后的N型硅片的第二方向的一面上形成依次层叠的所述遂穿氧化层、所述掺杂硅层和磷硅玻璃层、以及至少在部分所述硼硅玻璃层上形成绕镀硅层和绕镀磷硅玻璃层，获得所述钝化接触结构；

所述在经所述顶部平坦化处理后的N型硅片的第二方向的一面上形成钝化接触结构后，所述在所述扩散层上形成第一钝化层前，所述太阳能电池的制造方法还包括：

分别对经所述钝化接触工艺处理后的所述N型硅片的第一方向的一面和第二方向的一面进行腐蚀清洗处理，去除所述绕镀硅层、所述绕镀磷硅玻璃层、所述硼硅玻璃层和所述磷硅玻璃层。