[发明专利]一种准分子灯及其光源装置

说明书

本发明公开了一种准分子灯及其光源装置，包括准分子灯、准分子放电管和光源装置，所述的准分子放电管由准分子放电内管、准分子放电外管和放电空间组成，准分子放电外管内设有放电空间，放电空间内设有准分子放电内管，准分子放电内管贯穿准分子放电外管的左右两个面，组成的气密封的双层玻璃管；准分子灯是由准分子放电管、金属准分子灯基条、金属柔性网罩、阳极金属电极棒和箍头组成，本发明比粗的准分子灯组成的面光源的均匀性好，使用范围更广，能量效率更高。

技术领域

本发明涉及光源技术领域，具体是一种准分子灯及其光源装置。

背景技术

UV准分子放电灯是利用施加在管外外侧和管内内侧之间加压高频高压电源，使在充有惰性气体的管外管内之间形成的放电空间发生放电发光的一种基于阻挡层放电原理的放电灯。短波长准分子灯在微电子、液晶、半导体、超精密器件生产中用于超精密清洗已得到普及，在特殊工程材料表面的改性改质中也在得到推广。目前市面上有两款表面处理用准分子产品，一种是圆形的，照射到被照物品的照射面积相当有限，均匀性差，浪费电能；一种是第二代的扁平结构，需要将圆管经过多次拉伸，生产成本高昂、负压承受有限、寿命期短。因此，本发明提供了一种准分子灯及其光源装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种准分子灯及其光源装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种准分子灯及其光源装包括准分子灯、准分子放电管和光源装置，所述的准分子放电管由准分子放电内管、准分子放电外管和放电空间组成，准分子放电外管内设有放电空间，放电空间内设有准分子放电内管，准分子放电内管贯穿准分子放电外管的左右两个面，组成的气密封的双层玻璃管；

准分子灯是由准分子放电管、金属准分子灯基条、金属柔性网罩、阳极金属电极棒和箍头组成，金属柔性网罩套在准分子放电管及金属准分子灯基条外侧，准分子放电管中心设置有阳极金属电极棒，阳极金属电极棒右端套有阳极引出端子，所述金属准分子灯基条上表面开设有若干个固定螺孔，固定螺孔和固定螺丝的螺纹连接；

光源装置为一支或多支准分子灯固定在可通水冷却的冷却板上。

所述金属准分子灯基条为内陷半圆弧形，金属准分子灯基条内陷半圆弧形面上镀有反光氧化膜，金属准分子灯基条内陷半圆弧形面上开设有阴极网箍槽，阴极网箍槽内设有箍头。

所述的金属柔性网罩外侧带出光网孔。

所述的可通水冷却板上安装有若干个固定螺丝和一个阴极引出端子。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、本申请中准分子灯带有基条，利于固定在冷却板上，利于准分子灯冷却，利于细长准分子灯机械强度，利于阵列成面光源，利于网状阴极的设置，利于放电管接触面的反光材料的施行，利于避开高价的偏形结构灯的玻璃成形，利于避开扁形结构灯内部的反光材料的烧结，利于避开扁形结构灯内上反光层紫外线不透射造成的经时变形，利于避免扁形结构灯与灯之间的无照射区。

2、本申请为细长结构，利于排列成面光源时面照射的均匀性，利于排列成大面积的面光源，利于高效冷却下灯的发光效率，利于避免粗形灯的大部分角度不能利用的发光损失，利于利用整个灯管的照射能量。

3、相比粗管准分子灯，本申请管径越细均匀性越强，发光光能充分利用，但越细机械强度越差，因此本申请中基条即能充当冷却、电极通电，还能保持放电管的机械强度，越细的管子，多支准分子灯紧密排列做成面光源后，比粗的准分子灯组成的面光源的均匀性好，使用范围更广，能量效率更高。

4、本申请中准分子灯基条不仅能增加机械强度，还能通过这根基条将热量传递到装置的冷却板上。