[发明专利]一种准分子灯及其光源装置在审

专利信息
申请号: 202110840098.1 申请日: 2021-07-24
公开(公告)号: CN113421818A 公开(公告)日: 2021-09-21
发明(设计)人: 王国征 申请(专利权)人: 上海国达特殊光源有限公司
主分类号: H01J61/52 分类号: H01J61/52;H01J61/073;H01J61/30
代理公司: 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 代理人: 孙莉莉
地址: 201700 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 分子 及其 光源 装置
【权利要求书】:

1.一种准分子灯及其光源装置,包括准分子灯、准分子放电管和光源装置,其特征在于:所述的准分子放电管由准分子放电内管(10)、准分子放电外管(9)和放电空间(14)组成,准分子放电外管(9)内设有放电空间(14),放电空间(14)内设有准分子放电内管(10),准分子放电内管(10)贯穿准分子放电外管(9)的左右两个面,组成的气密封的双层玻璃管;

准分子灯是由准分子放电管、金属准分子灯基条(7)、金属柔性网罩(4)、阳极金属电极棒(11)和箍头(6)组成,金属柔性网罩(4)套在准分子放电管及金属准分子灯基条(7)外侧,准分子放电管中心设置有阳极金属电极棒(11),阳极金属电极棒(11)右端套有阳极引出端子(13),所述金属准分子灯基条(7)上表面开设有若干个固定螺孔(8),固定螺孔(8)和固定螺丝(2)的螺纹连接;

光源装置为一支或多支准分子灯固定在可通水冷却的冷却板(1)上。

2.根据权利要求1所述的一种准分子灯及其光源装置,其特征在于,所述金属准分子灯基条(7)为内陷半圆弧形,金属准分子灯基条(7)内陷半圆弧形面上镀有反光氧化膜,金属准分子灯基条(7)内陷半圆弧形面上开设有阴极网箍槽(5),阴极网箍槽(5)内设有箍头(6)。

3.根据权利要求1所述的一种准分子灯及其光源装置,其特征在于,所述的金属柔性网罩(4)外侧带出光网孔。

4.根据权利要求1所述的一种准分子灯及其光源装置,其特征在于,所述的可通水冷却板(1)上安装有若干个固定螺丝(2)和一个阴极引出端子(3)。

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