[发明专利]一种高精度图案转印浆料载板结构

权利要求书

1.一种高精度图案转印浆料载板结构，其特征在于，包括：浆料载板本体、凹槽、反射体、光能吸收层，所述浆料载板本体包括玻璃载板，所述凹槽设置在所述浆料载板本体第一表面，所述反射体包括若干层金属薄膜层和若干层保护薄膜层，所述金属薄膜层设置在所述浆料载板本体第一表面中所述凹槽以外的区域上，所述保护薄膜层设置在所述金属薄膜层上，所述光能吸收层设置在所述凹槽的内壁上。

2.根据权利要求1所述的高精度图案转印浆料载板结构，其特征在于，所述金属薄膜层包括铝薄膜层、银薄膜层、锌薄膜层或铜薄膜层中的至少一种。

3.根据权利要求2所述的高精度图案转印浆料载板结构，其特征在于，所述保护薄膜层包括铜薄膜层、镍薄膜层、铬薄膜层、钛薄膜层或镍铬合金薄膜层中的至少一种。

4.根据权利要求3所述的高精度图案转印浆料载板结构，其特征在于，所述光能吸收层包括黑镍涂层、黑铬涂层、黑色氧化铜涂层、硫化铅薄膜涂层或铝-氮/铝涂层中的至少一种。

5.根据权利要求4所述的高精度图案转印浆料载板结构，其特征在于，所述凹槽的横截面形状包括正方形、长方形、三角形、梯形、半圆形或半椭圆形中的至少一种。

6.根据权利要求5所述的高精度图案转印浆料载板结构，其特征在于，所述凹槽的开口宽度为1-1000μm，深度为1-100μm。

7.根据权利要求1所述的高精度图案转印浆料载板结构，其特征在于，所述玻璃载板包括普通玻璃、石英玻璃、高硼硅玻璃或有机玻璃中的至少一种，所述浆料载板本体的厚度为1-10mm。

8.根据权利要求2所述的高精度图案转印浆料载板结构，其特征在于，所述金属薄膜层的厚度为10-1000nm。

9.根据权利要求4所述的高精度图案转印浆料载板结构，其特征在于，所述光能吸收层的厚度为1-5000nm。