[发明专利]一种半导体测试方法及装置

说明书

本发明提供了一种半导体测试方法及装置，该方法包括：采集芯片当前多点位频率值信息；将多点位频率值信息传递给外部运算服务；外部运算服务执行复杂矩阵运算，得到符合条件的补偿系数；外部运算服务返回符合条件的补偿系数给测试程序；测试程序将符合条件的补偿系数烧录进芯片NVM存储区；再次采集芯片多点位频率值信息，确认补偿结果。本申请将复杂矩阵算法从原有测试程序剥离，摆脱了原测试程序的软硬件限制。本申请缩短了软件开发的时间，降低了开发的难度，提高了芯片测试的效率和正确性。

技术领域

本发明属于芯片测试领域，具体而言，涉及一种半导体测试方法及装置。

背景技术

集成电路(芯片)广泛应用于消费电子/安防/工业设备/汽车电子等各行各业。所有的集成电路(芯片)产品在最终组装成产品前，必须要进行严格的测试，确保其具备设计之功能和品质才可以使用。集成电路测试包括封装前的晶圆级测试(Wafer Test)和封装后的成品级测试(Final Test)两部分。

在高精度网络处理芯片测试项目中，测试机为Teradyne J750，Teradyne J750为1998年推出的机台，Windows系统，Excel VBA程序开发环境，只支持到VB6.0，由于测试程序中需要对芯片进行高精度系数补偿，涉及到多维矩阵的复杂运算，包括multiply(相乘)、inversion(求逆计算)、pseudoinversion(伪逆计算)等。目前的方案为在VBA环境下，用VB6的语言自行编写代码进行矩阵的相乘、求逆计算、伪逆计算等运算，但存在以下问题：代码量巨大，需花费数月时间编写，且正确性无法保证；运算公式复杂；VBA环境下大量的代码运算效率无法保证，会导致测试时间变长，浪费成本。

发明内容

本申请实施例提供了一种半导体测试方法及装置，缩短了软件开发的时间，降低了开发的难度，提高了芯片测试的效率和正确性。

第一方面，本申请实施例提供了一种半导体测试方法，包括：

采集芯片当前多点位频率值信息；

将多点位频率值信息传递给外部运算服务；

外部运算服务执行复杂矩阵运算，得到符合条件的补偿系数；

外部运算服务返回符合条件的补偿系数给测试程序；

测试程序将符合条件的补偿系数烧录进芯片NVM存储区；

再次采集芯片多点位频率值信息，确认补偿结果。

其中，将多点位频率值信息传递给外部运算服务，包括：

测试程序呼叫外部运算管道函数，传入外部运算管道函数以下参数组：点位数组、频率数组、初始系数数组、初始修正系数数组。

其中，外部运算服务执行复杂矩阵运算，得到符合条件的补偿系数，包括：

进行点位数组/2¹⁹的计算得到拟合数组；

对初始系数矩阵进行转置运算得到系数转置矩阵；

对所述拟合数组进行运算得到范特蒙德矩阵；

所述系数转置矩阵与所述范特蒙德矩阵相乘得到多项式矩阵；

所述多项式矩阵进行伪逆计算得到多项式伪逆矩阵；

所述多项式伪逆矩阵与频率矩阵相乘得到基准衡量矩阵；

所述基准衡量矩阵与初始修正系数矩阵相乘得到频率多项式矩阵，所述频率多项式矩阵为最佳频率系数矩阵。

其中，还包括：将传入函数、运算函数、返回函数、Math.NET Numerics包封装成动态链接库，所述动态链接库供测试程序调用。