[发明专利]一种半导体测试方法及装置在审
申请号: | 202110837437.0 | 申请日: | 2021-07-23 |
公开(公告)号: | CN113484731A | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 苏广峰;姜伟伟 | 申请(专利权)人: | 安测半导体技术(江苏)有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 北京文苑专利代理有限公司 11516 | 代理人: | 于利晓 |
地址: | 225000 江苏省扬州市高*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 测试 方法 装置 | ||
1.一种半导体测试方法,其特征在于,包括:
采集芯片当前多点位频率值信息;
将多点位频率值信息传递给外部运算服务;
外部运算服务执行复杂矩阵运算,得到符合条件的补偿系数;
外部运算服务返回符合条件的补偿系数给测试程序;
测试程序将符合条件的补偿系数烧录进芯片NVM存储区;
再次采集芯片多点位频率值信息,确认补偿结果。
2.根据权利要求1所述半导体测试方法,其特征在于,将多点位频率值信息传递给外部运算服务,包括:
测试程序呼叫外部运算管道函数,传入外部运算管道函数以下参数组:点位数组、频率数组、初始系数数组、初始修正系数数组。
3.根据权利要求1或2所述半导体测试方法,其特征在于,外部运算服务执行复杂矩阵运算,得到符合条件的补偿系数,包括:
进行点位数组/219的计算得到拟合数组;
对初始系数矩阵进行转置运算得到系数转置矩阵;
对所述拟合数组进行运算得到范特蒙德矩阵;
所述系数转置矩阵与所述范特蒙德矩阵相乘得到多项式矩阵;
所述多项式矩阵进行伪逆计算得到多项式伪逆矩阵;
所述多项式伪逆矩阵与频率矩阵相乘得到基准衡量矩阵;
所述基准衡量矩阵与初始修正系数矩阵相乘得到频率多项式矩阵,所述频率多项式矩阵为最佳频率系数矩阵。
4.根据权利要求1-3任一项所述半导体测试方法,其特征在于,还包括:将传入函数、运算函数、返回函数、Math.NET Numerics包封装成动态链接库,所述动态链接库供测试程序调用。
5.根据权利要求1-3任一项所述半导体测试方法,其特征在于,还包括:将动态链接库放入测试机PC供测试程序调用。
6.一种半导体测试装置,其特征在于,包括:
测试程序单元,用于:采集芯片当前多点位频率值信息;将多点位频率值信息传递给外部运算服务单元;
外部运算服务单元,用于执行复杂矩阵运算,得到符合条件的补偿系数;返回符合条件的补偿系数给测试程序单元;
所述测试程序单元,用于将符合条件的补偿系数烧录进芯片NVM存储区;再次采集芯片多点位频率值信息,确认补偿结果。
7.根据权利要求6所述半导体测试装置,其特征在于,所述测试程序单元用于:
呼叫外部运算管道函数,传入外部运算管道函数以下参数组:点位数组、频率数组、初始系数数组、初始修正系数数组。
8.根据权利要求7所述半导体测试装置,其特征在于,所述外部运算服务单元用于:
进行点位数组/219的计算得到拟合数组;
对初始系数矩阵进行转置运算得到系数转置矩阵;
对所述拟合数组进行运算得到范特蒙德矩阵;
所述系数转置矩阵与所述范特蒙德矩阵相乘得到多项式矩阵;
所述多项式矩阵进行伪逆计算得到多项式伪逆矩阵;
所述多项式伪逆矩阵与频率矩阵相乘得到基准衡量矩阵;
所述基准衡量矩阵与初始修正系数矩阵相乘得到频率多项式矩阵,所述频率多项式矩阵为最佳频率系数矩阵。
9.一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,其特征在于,该程序被处理器执行时实现所述权利要求1-5中任一项所述方法的步骤。
10.一种计算机设备,包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序,其特征在于,所述处理器执行所述程序时实现所述权利要求1-5中任一项所述方法的步骤。
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