[发明专利]一种微透镜阵列

说明书

本说明书实施例公开了一种微透镜阵列，位于所述衬底表面的平台结构；以及，阵列排布于所述平台结构上方的多个微透镜结构；当平行的入射光线穿过所述微透镜阵列覆盖所述衬底表面时，所述平台结构的高度、所述微透镜结构的焦距以及所述衬底表面被所述入射光线覆盖的面积，三者满足以下关系:通过分别设定的所述平台结构的高度和所述微透镜结构的焦距，使得平行的所述入射光线穿过所述微透镜结构和所述平台结构后覆盖预定面积的所述衬底表面。

技术领域

本申请涉及微光学技术领域，尤其涉及一种微透镜阵列。

背景技术

微透镜列阵(microlens array，MLA)由多个微米级特征尺寸的小透镜排布而成，具有聚焦、成像等基本功能，又有单元尺寸小、集成度高等特点，能够实现传统光学元件难以完成的功能，是许多新型光学系统的核心构成元件，如可见光/红外成像、激光列阵扫描、光束匀化和整形、光束聚焦和准直、激光显示、波前传感、光纤耦合等系统。

现有技术中，微透镜列阵的结构受制备工艺的影响较大，使得其在实际应用中存在很大的局限性。

为解决上述问题，亟需提供一种具有良好适应性的微透镜阵列。

发明内容

有鉴于此，本说明书实施例提供了一种具有广阔适用范围的微透镜阵列。

本说明书实施例采用下述技术方案：

本说明书实施例提供了一种微透镜阵列，位于衬底表面，其特征在于，包括：

位于所述衬底表面的平台结构；

以及，阵列排布于所述平台结构上方的多个微透镜结构；

当平行的入射光线穿过所述微透镜阵列覆盖所述衬底表面时，

所述平台结构的高度、所述微透镜结构的焦距以及所述衬底表面被所述入射光线覆盖的面积，三者满足以下关系:

通过分别设定的所述平台结构的高度和所述微透镜结构的焦距，使得平行的所述入射光线穿过所述微透镜结构和所述平台结构后覆盖预定面积的所述衬底表面。

优选地，当来自所述衬底表面的出射光线穿过所述微透镜阵列出射时，

所述平台结构的高度和所述微透镜结构的焦距，两者满足以下关系：

通过分别设定的所述平台结构的高度和所述微透镜结构的焦距，使得来自所述衬底表面的所述出射光线穿过所述微透镜结构和所述平台结构后形成平行光出射。

优选地，所述通过分别设定的所述平台结构的高度和所述微透镜结构的焦距，以使得平行的所述入射光线穿过所述微透镜结构和所述平台结构后覆盖预定面积的所述衬底表面包括：

通过分别设定的所述平台结构的高度和所述微透镜结构的焦距，使得所述微透镜结构的焦平面位于所述衬底表面上方，平行的所述入射光线穿过所述微透镜结构和所述平台结构后覆盖预定面积的所述衬底表面。

优选地，所述通过分别设定的所述平台结构的高度和所述微透镜结构的焦距，以使得入射光线穿过所述微透镜结构和所述平台结构后覆盖预定面积的所述衬底表面包括：

通过分别设定的所述平台结构的高度和所述微透镜结构的焦距，使得所述微透镜结构的焦平面位于所述衬底表面下方，平行的所述入射光线穿过所述微透镜结构和所述平台结构后覆盖预定面积的所述衬底表面。

优选地，所述衬底表面形成有光学器件阵列，所述光学器件包括感光器件和光源器件中的至少一种；

所述平台结构位于所述光学器件阵列上方；

所述光学器件阵列中的每个光学器件上方设定有一个所述微透镜结构；