[发明专利]一种可调节探针卡装置的探针驱动结构

说明书

本发明属于探针卡技术领域，尤其涉及一种可调节探针卡装置的探针驱动结构，包括：连接架、阻尼盘、外齿轮、内齿轮、驱动齿和驱动电机，阻尼盘转动设置在连接架上，阻尼盘的下侧转动设置有外齿轮，外齿轮的内侧与内齿轮啮合，外齿轮的外侧与驱动齿啮合，内齿轮上开设有弧形的限位滑槽，由此结构，能够实现，在驱动齿带动外齿轮转动时，内齿轮首先转动，使移动磁体靠近或远离探针单元阵列，在内齿轮转动至限制的角度后停止转动，外齿轮带动阻尼盘转动，使移动磁体环绕探针单元阵列转动，能够实现移动磁体顺时针和逆时针的转动，同时能够将移动磁体移动至探针单元阵列附近或远离探针单元阵列的位置，避免磁力的影响。

技术领域

本发明属于探针卡技术领域，尤其涉及一种可调节探针卡装置的探针驱动结构。

背景技术

在晶圆半导体生产过程中，裸晶圆在切割后封装前，需要测试其品质，检测其中的不良品，在封装前把坏的芯片筛选出来，节省封装成本，同时可更直接知道晶圆的良率。在检测时，通过探针台的微位移带动探针卡进行下压，探针卡作为一种测试接口，用于与晶圆对接。随着探针卡的微位移，探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块接触，使电路连通，引出芯片信号，通过测试仪器与软件达到测量目的。为保证探针与芯片上的焊垫或凸块接触良好，通常需要对探针进行校正，对探针的纵向与横向位置，以及探针的高度进行调整，但由于芯片上的焊垫或凸块高度无法统一，仍存在探针与焊垫或凸块在高度方向上的偏差，导致接触不良的问题。

发明内容

本发明克服了上述现有技术的不足，提供了一种可调节探针卡装置的探针驱动结构，用于驱动探针，使探针卡简化在探针高度方向上的对针过程，同时，使探针能够适应焊垫或凸块高度。

本发明的技术方案：

一种可调节探针卡装置，包括：探针单元、移动磁体、探针板、座圈、卡圈、引导环和探针导线，若干个所述探针单元阵列设置，探针单元阵列的外侧环绕设置有移动磁体，该移动磁体能够环绕探针单元阵列移动，且在移动中移动磁体的一个磁极指向该探针单元阵列；

所述探针单元包括：探针帽、探针体和固定磁体，所述探针帽为一圆柱体，该圆柱体的下端沿轴向设置有非贯通的插入口，且该插入口内部设置有螺纹，所述的探针体的上端设置有与该插入口适配的外螺纹，探针体的中间设置有固定磁体，该固定磁体水平设置，使固定磁体的两个磁极所在的直线与探针体的轴线垂直，所述探针体的下端为探针头。

所述探针板上阵列设置有探针单元，探针板覆盖在座圈的下端，座圈的上端与卡圈的下端连接，卡圈的上端设置有引导环，所述的探针导线一端与探针单元连接，探针导线的另一端连接至引导环。

进一步地，所述的座圈包括座圈体、座圈体外侧下沿设置有一下挡环，所述卡圈包括卡圈体，卡圈体外侧上沿设置有一上挡环，所述上挡环、下挡环、座圈体和卡圈体构成一环形的移动磁体滑槽。

进一步地，所述卡圈的上表面设置有容纳所述探针导线的下卡槽，所述引导环包括引导环体，引导环体下表面设置有容纳所述探针导线的上卡槽。

进一步地，所述上卡槽的内侧能够与所述下卡槽夹持所述探针导线，所述上卡槽的外侧槽深大于其内侧，使探针导线能够进入所述引导环体内。

进一步地，所述上卡槽的外侧设置有连接孔。

进一步地，还包括探针驱动结构，所述的移动磁体设置在探针驱动结构上。

一种可调节探针卡装置的探针驱动结构，包括：连接架、阻尼盘、外齿轮、内齿轮、驱动齿和驱动电机，所述连接架的一侧与电路板固定连接，连接架的另一侧设置有阻尼盘，阻尼盘转动设置在连接架上，阻尼盘的下侧转动设置有外齿轮，外齿轮的外侧和内侧均设置有轮齿，且外齿轮的内侧与内齿轮啮合，外齿轮的外侧与驱动齿啮合，驱动齿与驱动电机连接；