[发明专利]一种可调节探针卡装置的探针驱动结构

权利要求书

1.一种可调节探针卡装置的探针驱动结构，其特征在于，包括：连接架（8-1）、阻尼盘（8-2）、外齿轮（8-3）、内齿轮（8-4）、驱动齿（8-5）和驱动电机（8-6），所述连接架（8-1）的一侧与电路板（10）固定连接，连接架（8-1）的另一侧设置有阻尼盘（8-2），阻尼盘（8-2）转动设置在连接架（8-1）上，阻尼盘（8-2）的下侧转动设置有外齿轮（8-3），外齿轮（8-3）的外侧和内侧均设置有轮齿，且外齿轮（8-3）的内侧与内齿轮（8-4）啮合，外齿轮（8-3）的外侧与驱动齿（8-5）啮合，驱动齿（8-5）与驱动电机（8-6）连接；

所述内齿轮（8-4）与外齿轮（8-3）啮合一侧相对的另一侧贴合在探针单元阵列外侧，所述内齿轮（8-4）转动设置在阻尼盘（8-2）上，内齿轮（8-4）上开设有弧形的限位滑槽（8-7），限位滑槽（8-7）内设置有限位挡块（8-8），该限位挡块（8-8）固定连接在阻尼盘（8-2）上，所述内齿轮（8-4）的外侧固定连接有移动磁体（2），且在限位挡块（8-8）滑动至限位滑槽（8-7）端部时，移动磁体（2）贴合在探针单元阵列外侧。

2.根据权利要求1所述的一种可调节探针卡装置的探针驱动结构，其特征在于，所述内齿轮（8-4）的外侧固定连接有两个移动磁体（2），在限位挡块（8-8）滑动至限位滑槽（8-7）一端时，其中一个移动磁体（2）贴合在探针单元阵列外侧，在限位挡块（8-8）滑动至限位滑槽（8-7）另一端时，另一个移动磁体（2）贴合在探针单元阵列外侧。

3.根据权利要求2所述的一种可调节探针卡装置的探针驱动结构，其特征在于，所述阻尼盘（8-2）与连接架（8-1）接触的一侧设置有阻尼垫。

4.根据权利要求3所述的一种可调节探针卡装置的探针驱动结构，其特征在于，所述外齿轮（8-3）的两侧均设置有环形的导向条，两侧的导向条均嵌入连接架（8-1）上的导向槽内。

5.根据权利要求1、2、3或4任一项所述的一种可调节探针卡装置的探针驱动结构，其特征在于，应用在一种可调节探针卡装置上。

6.根据权利要求5所述的一种可调节探针卡装置的探针驱动结构，其特征在于，所述的一种可调节探针卡装置包括：探针单元（1）、移动磁体（2）、探针板（3）、座圈（4）、卡圈（5）、引导环（6）和探针导线（7），若干个所述探针单元（1）阵列设置，探针单元阵列的外侧环绕设置有移动磁体（2），该移动磁体（2）能够环绕探针单元阵列移动，且在移动中移动磁体（2）的一个磁极指向该探针单元阵列。