[发明专利]一种氟化物异形导光棒外表面镀反射膜的方法

说明书

本发明公开了一种氟化物异形导光棒外表面镀反射膜的方法，线对待镀的异形导光棒进行超声清洗，然后对待镀的异形导光棒进行离子清洗活化；随后镀制反射膜；在镀膜装置内通入氧气，通过电子枪发射电子束将镀膜装置内坩埚中的铝熔化后蒸发，同时对坩埚施加连续直流偏压，将氧气及铝蒸气离化形成等离子云；还对异形导光棒施加脉冲直流偏压，异形导光棒浸没于生产的铝、氧等离子体中，以镀制氧化铝打底层；接着重新通入氩气，以镀制金属铝层；参照氧化铝打底层制备氧化铝保护层，得到成品。本发明能够在异形导光棒外表面镀制均匀反射膜。

技术领域

本发明涉及异形导光棒制备技术领域，具体涉及一种氟化物异形导光棒外表面镀反射膜的方法。

背景技术

导光棒常用在一些狭小操作环境的作业中，如口腔、机械或管道内部探查等。氟化物导光棒除了可以传导可见光之外，还可以传导紫外线，可用在一些紫外固化或者显影曝光的应用中。

传统导光棒采用全反射原理进行光线的传递，然而当导光棒出现弯折或者导光棒外形为异形时，全反射条件将不再满足，光线将从导光棒侧端逸出，造成损失。为了将光线从导光棒侧端的逸出降低，对导光棒外表面镀反射膜是一种优选的解决方案。

现有常规的镀膜方式适用在平面型光学原件的表面镀制使用，将待镀元件置于工件盘卡具上进行蒸镀或者溅射镀膜。如果有特殊要求，如斜面或者楔角面需要镀膜时，则将待镀原件倾斜地夹持在真空室内镀膜。不管是蒸镀或者溅射方式，都是一种视线性(Lineof sight)技术，只能对“视线”范围内部分进行镀膜。对于圆柱体异形导光棒表面进行镀膜时，上述传统方法便难以实现。面对此类情况，目前有采用可旋转卡具进行夹持圆柱形异形导光棒，使异形导光棒在镀膜过程中能够沿轴向转动。然而该类型夹具结构复杂，成本较高。并且该镀膜方法制备的异形导光棒表面均匀性无法很好控制，镀后容易在径向方向残留一道直线印记。

当导光棒外形变为异形时，采用旋转卡具的方式进行装夹并镀膜，外表面膜层厚度不均匀，且在弯折处印记明显，产品质量大大降低。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种氟化物异形导光棒外表面镀反射膜的方法，能够在异形导光棒外表面镀制均匀反射膜。

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种氟化物异形导光棒外表面镀反射膜的方法，包括以下步骤：

步骤1)对待镀的异形导光棒进行超声清洗；

步骤2)对待镀的异形导光棒进行离子清洗活化；将异形导光棒固定至镀膜装置内，将镀膜装置内抽真空后充入一定量氩气，随后对异形导光棒施加脉冲直流偏压，以产生并维持辉光放电，利用Ar⁺离子轰击异形导光棒表面以去除表面吸附的杂质及氧化层活化异形导光棒表面；

步骤3)镀制氧化铝打底层；在镀膜装置内通入氧气，通过电子枪发射电子束将镀膜装置内坩埚中的铝熔化后蒸发，同时对坩埚施加连续直流偏压，将氧气及铝蒸气离化形成等离子云；随后对异形导光棒施加脉冲直流偏压，异形导光棒浸没于生产的铝、氧等离子体中，在脉冲直流偏压的影响下，正离子从各方向垂直向异形导光棒表面加速并轰击致密化膜层，以镀制氧化铝打底层，结束后关闭电子枪电源及施加在坩埚和异形导光棒上的偏压、并关闭氧气；

步骤4)镀制镀制金属铝层；通入氩气，继续通过电子枪发射电子束将镀膜装置内坩埚中的铝熔化后蒸发同时对坩埚施加连续直流偏压，将铝蒸气离化形成等离子云，随后对异形导光棒施加脉冲直流偏压以镀制金属铝层，结束后关闭电子枪电源及施加在坩埚和异形导光棒上的偏压、并关闭氩气；

步骤5)镀制氧化铝保护层；采用镀制氧化铝打底层的步骤方法在金属铝层表现制备氧化铝保护层，从而得到成品。

进一步地，在步骤2)中，将镀膜装置内抽真空至5×10^-4Pa；充入氩气后，使气压维持在5×10^-2Pa；对异形导光棒施加-200V的脉冲直流偏压，且频率为200kHz，占空比30％。