[发明专利]薄膜材料粘贴装置和薄膜材料粘贴方法

权利要求书

1.一种薄膜材料粘贴装置，其特征在于，

该薄膜材料粘贴装置具备：

第1加压机构，其具有保持工件的工件保持部；

第2加压机构，其与所述第1加压机构相面对地配置；

薄膜供给机构，其通过使薄膜材料层叠于由所述工件保持部保持着的所述工件，从而使所述薄膜材料保持于所述工件保持部；以及

粘贴机构，其通过在所述工件保持部保持着所述工件和所述薄膜材料的状态下使所述第1加压机构和所述第2加压机构相对地靠近并相互按压，从而将所述薄膜材料粘贴于所述工件，

所述第2加压机构具备：

弹性构件，其配设为，通过由所述粘贴机构使所述第1加压机构和所述第2加压机构相对地靠近，从而该弹性构件使按压力作用于所述薄膜材料的整个面；以及

保护片，其至少保护所述弹性构件中的与所述工件保持部相面对的面。

2.根据权利要求1所述的薄膜材料粘贴装置，其特征在于，

该薄膜材料粘贴装置具备张力施加机构，该张力施加机构对所述保护片施加张力，从而防止所述保护片以松弛了的状态与所述薄膜材料接触。

3.根据权利要求1或2所述的薄膜材料粘贴装置，其特征在于，

该薄膜材料粘贴装置具备：

腔室，其具有上壳体和下壳体，并容纳所述第1加压机构和所述第2加压机构；以及

减压机构，其使所述腔室的内部空间减压，

所述粘贴机构通过在所述减压机构使所述腔室的内部空间减压了的状态下使所述第1加压机构和所述第2加压机构相对地靠近并相互按压，从而将所述薄膜材料粘贴于所述工件。

4.根据权利要求1或2所述的薄膜材料粘贴装置，其特征在于，

至少所述第1加压机构和所述第2加压机构中的一者具备加热机构，在利用所述粘贴机构进行粘贴之际，该加热机构加热所述薄膜材料。

5.一种薄膜材料粘贴方法，其特征在于，

该薄膜材料粘贴方法具备：

工件保持过程，在该工件保持过程中，使工件保持于第1加压机构所具有的工件保持部；

薄膜供给过程，在该薄膜供给过程中，通过使薄膜材料层叠于由所述工件保持部保持着的所述工件，从而使所述薄膜材料保持于所述工件保持部；

接近过程，在该接近过程中，在所述工件保持部保持着所述工件和所述薄膜材料的状态下，使与所述第1加压机构相面对地配置的第2加压机构和所述第1加压机构相对地靠近；以及

粘贴过程，在该粘贴过程中，通过使相对地靠近的所述第1加压机构和所述第2加压机构相互按压，从而将所述薄膜材料粘贴于所述工件，

所述第2加压机构具备：

弹性构件，其配设于所述第2加压机构的与所述第1加压机构相面对的面；以及

保护片，其至少保护所述弹性构件中的与所述工件保持部相面对的面，

在所述粘贴过程中，所述弹性构件隔着所述保护片使按压力作用于所述薄膜材料的整个面，从而将所述薄膜材料粘贴于所述工件。

6.根据权利要求5所述的薄膜材料粘贴方法，其特征在于，

该薄膜材料粘贴方法具备张力施加过程，在该张力施加过程中，通过对所述保护片施加张力，从而防止所述保护片以松弛了的状态与所述薄膜材料接触，

在所述粘贴过程中，所述弹性构件隔着通过所述张力施加过程而被施加张力的所述保护片使按压力作用于所述薄膜材料的整个面，从而将所述薄膜材料粘贴于所述工件。

7.根据权利要求5或6所述的薄膜材料粘贴方法，其特征在于，

该薄膜材料粘贴方法具备：

腔室形成过程，在该腔室形成过程中形成腔室，该腔室具有上壳体和下壳体，并容纳所述第1加压机构和所述第2加压机构；以及

减压过程，在该减压过程中，使所述腔室的内部空间减压，

在所述粘贴过程中，通过在利用所述减压过程使所述腔室的内部空间减压了的状态下使所述第1加压机构和所述第2加压机构相对地靠近并相互按压，从而将所述薄膜材料粘贴于所述工件。

8.根据权利要求5或6所述的薄膜材料粘贴方法，其特征在于，

该薄膜材料粘贴方法具备加热过程，在该加热过程中，利用至少设于所述第1加压机构和所述第2加压机构中的一者的加热机构来加热所述薄膜材料，

在所述粘贴过程中，将通过所述加热过程被加热了的状态下的所述薄膜材料粘贴于所述工件。