[发明专利]一种带水汽蒸发系统的工艺腔室

权利要求书

1.一种带水汽蒸发系统的工艺腔室，其特征在于，包括架体(1)，所述架体(1)上安装有加热器(2)，所述加热器(2)的内侧安装有工艺管(3)，所述工艺管(3)安装在加热器(2)之间，且为非接触式固定安装，所述工艺管(3)的管口处设置有工艺管(3)密封法兰压紧工艺管(3)密封圈，在管口的外侧设置有摆动炉门(6)，所述工艺管(3)下端的内壁上设置有工艺进气管(301)，所述工艺进气管(301)的一端连接有进气阀(302)，所述进气阀(302)的另一端通过连接管连接有水汽蒸发系统(7)。

2.根据权利要求1所述的一种带水汽蒸发系统的工艺腔室，其特征在于，所述水汽蒸发系统(7)包括蒸汽系统外框，所述蒸汽系统外框底部的端脚处设置有架体(1)，所述连接管伸入蒸汽系统外框连接着蒸汽系统外框内的水蒸气管(701)，所述水蒸气管(701)管身的外围包裹有蒸发加热器(702)，所述水蒸气管(701)的另一端通过连接管连接有气水三通座(703)，所述气水三通座(703)的另外两个方向通过连接管分别连接有气流量计(704)和水流量计(705)。

3.根据权利要求2所述的一种带水汽蒸发系统的工艺腔室，其特征在于，所述气流量计(704)的另一端通过连接管连接有气阀门(706)，所述气阀门(706)的另一端通过连接管连接有携带气进气管(707)。

4.根据权利要求3所述的一种带水汽蒸发系统的工艺腔室，其特征在于，所述水流量计(705)的另一端通过连接管连接有水阀门(708)，所述水阀门(708)的另一端通过连接管连接有压力表座(709)，所述压力表座(709)上安装有压力表，所述压力表的另一端通过连接管连接有水罐出水管(7010)，所述水罐出水管(7010)伸入到微正压水罐(7011)。

5.根据权利要求4所述的一种带水汽蒸发系统的工艺腔室，其特征在于，所述微正压水罐(7011)的上盖处设置有水罐补水口(7012)和水罐进气管(7013)，所述水罐进气管(7013)的端部连接有控压进气管(7014)。

6.根据权利要求1所述的一种带水汽蒸发系统的工艺腔室，其特征在于，所述加热器(2)和工艺管(3)之间设置有垫块(202)，所述工艺管(3)通过垫块(202)固定在加热器(2)的内部，所述工艺管(3)的一端设置有尾部隔热堵块(201)，且所述尾部隔热堵块(201)固定安装于所述加热器(2)之间,所述加热器(2)的一端设置有口部保温软堵块(203)，且所述口部保温软堵块(203)固定安装于所述加热器(2)和工艺管(3)之间，所述口部保温软堵块(203)设置于所述加热器(2)一端的端口处。

7.根据权利要求1所述的一种带水汽蒸发系统的工艺腔室，其特征在于，从所述工艺管(3)中部位置伸到加热器(2)外部处设置有出气管和真空管，所述出气管和真空管的端头处设置有阀门。

8.根据权利要求1所述的一种带水汽蒸发系统的工艺腔室，其特征在于，所述工艺管(3)密封法兰的一侧设置有工艺炉口法兰(5)，所述工艺管(3)密封圈设置于工艺管(3)、工艺管(3)密封法兰和工艺炉口法兰(5)之间，所述摆动炉门(6)设置于所述工艺炉口法兰(5)的一侧，且所述摆动炉门(6)和工艺管(3)炉口法兰之间设置有炉口密封圈(601)。

9.根据权利要求1所述的一种带水汽蒸发系统的工艺腔室，其特征在于，所述工艺管(3)的内部设置有晶舟(401)，所述晶舟(401)上固定有晶片(402)。