[发明专利]含氧高纯三甲基铝的制备装置及其方法

权利要求书

1.含氧高纯三甲基铝的制备装置，其特征在于：包含加氧反应容器(4)、高纯三甲基铝产品储罐(7)以及含氧三甲基铝储罐(8)，含氧惰性气体储罐(1)通过管路连接加氧反应容器(4)，加氧反应容器(4)、高纯三甲基铝产品储罐(7)和含氧三甲基铝储罐(8)分别通过支管路分别连接氮气管路(10)、尾气管路(11)、真空管路(12)以及物料管路(13)，各支管路上均安装有阀门；

真空泵(5)通过管路连接尾气吸收罐(6)，尾气吸收罐(6)通过支管路分别连接尾气管路(11)、真空管路(12)以及物料管路(13)，各支管路上均安装有阀门。

2.根据权利要求1所述的含氧高纯三甲基铝的制备装置，其特征在于：含氧惰性气体储罐(1)与加氧反应容器(4)之间的连接管路上安装有气体纯化器(2)和流量计(3)。

3.根据权利要求1所述的含氧高纯三甲基铝的制备装置，其特征在于：含氧惰性气体储罐(1)内通入有氢气、氮气、氦气或氩气，氧含量为5ppm～1000ppm。

4.根据权利要求1所述的含氧高纯三甲基铝的制备装置，其特征在于：高纯三甲基铝产品储罐(7)、含氧三甲基铝储罐(8)以及尾气吸收罐(6)分别置于称量单元上。

5.根据权利要求1所述的含氧高纯三甲基铝的制备装置，其特征在于：加氧反应容器(4)的容积为2～20L。

6.根据权利要求1或5所述的含氧高纯三甲基铝的制备装置，其特征在于：加氧反应容器(4)置于手套箱(9)中。

7.利用权利要求1所述的装置实现含氧高纯三甲基铝的制备方法，其特征在于：首先开启真空泵(5)，对尾气吸收罐(6)、加氧反应容器(4)、高纯三甲基铝产品储罐(7)、含氧三甲基铝储罐(8)及其管路抽真空，氮气管路(10)提供的氮气对尾气吸收罐(6)、加氧反应容器(4)、高纯三甲基铝产品储罐(7)、含氧三甲基铝储罐(8)及其管路进行置换，使其充满惰性气体保护；

通过氮气将高纯三甲基铝产品储罐(7)中的高纯三甲基铝经过物料管路压入加氧反应容器(4)中，容器内原有气体通过尾气管路(11)排出进入尾气吸收罐(6)，避免加氧反应容器(4)内的压力过高而导致反应容器膨胀变形损坏；

含氧惰性气体储罐(1)内的含氧惰性气体进入加氧反应容器(4)，通过控制接触时长、气体流量进行加氧反应，获得稳定的含氧高纯三甲基铝；反应产生的气体和颗粒通过尾气管路(11)进入尾气吸收罐(6)。

8.根据权利要求7所述的含氧高纯三甲基铝的制备方法，其特征在于：含氧惰性气体储罐(1)内的含氧惰性气体进入加氧反应容器(4)前，先经过气体纯化器(2)进行纯化，去除气体中的杂质，再经过流量计(3)调节流量，流量为0～30L/min。

9.根据权利要求7所述的含氧高纯三甲基铝的制备方法，其特征在于：高纯三甲基铝压入量不超过10kg。

10.根据权利要求7所述的含氧高纯三甲基铝的制备方法，其特征在于：获得的含氧高纯三甲基铝的纯度大于或等于99.999％，氧含量5～1000ppm，硅含量0.2ppm。