[发明专利]一种采用浴油控温的真空传感器高低温工况校准装置

说明书

本申请提供一种采用浴油控温的真空传感器高低温工况校准装置，包括浴油控温箱、真空标准室和标准真空规；浴油控温箱分别与第一真空组件和温控组件连接，用于安装被校准真空规；被校准真空规和标准真空规的探测头分别位于真空标准室内；真空标准室分别与第二真空组件和调压组件连接。根据本申请实施例提供的技术方案，通过第一真空组件和温控组件可在浴油温控箱内模拟出真空高低温环境，确保被校准真空规处于相应的应用环境中，再通过与标准真空规210同时测量真空标准室的压力，即可根据标准真空规的测量值进行对被校准真空规进行校准。

技术领域

本申请涉及真空传感器校准技术领域,具体涉及一种采用浴油控温的真空传感器高低温工况校准装置。

背景技术

目前，真空传感器广泛应用于航天、航空等多领域，且多数情况使用于高低温条件下，而真空传感器常规的校准均是在常温下进行，与实际的使用工况并不相符。真空传感器在使用过程中数据的准确与稳定，往往对整个系统或机器起着至关重要的作用，因此，在高低温工况下对真空传感器进行校准是十分必要的。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种采用浴油控温的真空传感器高低温工况校准装置。

本申请提供一种采用浴油控温的真空传感器高低温工况校准装置，包括浴油控温箱、真空标准室和标准真空规；浴油控温箱分别与第一真空组件和温控组件连接，用于安装被校准真空规；被校准真空规和标准真空规的探测头分别位于真空标准室内；真空标准室分别与第二真空组件和调压组件连接。

进一步的，第一真空组件包括第一机械泵和手阀；手阀安装在第一机械泵与浴油控温箱之间。

进一步的，第二真空组件包括第二机械泵、插板阀和稳压室；第二机械泵与稳压室连接；插板阀连接在稳压室与第二机械泵之间；稳压室与真空标准室连接，对接处设有带孔的隔板。

进一步的，还包括分子泵；分子泵串联在插板阀与第二机械泵之间；第二机械泵与分子泵之间还串联有电磁阀。

进一步的，浴油控温箱包括设有中空夹层的筒体；筒体的两端分别安装有上法兰和下法兰；上法兰上安装有穿舱电连接器；下法兰上安装有工装连接件。

进一步的，温控组件包括浴油机组；筒体的侧壁上对应浴油机组分别设有浴油进口和浴油出口。

进一步的，上法兰上对应第一真空组件设有匹配的抽气接口。

进一步的，调压组件包括针阀；针阀安装在真空标准室上，用于调节真空标准室内的压力。

本申请具有的优点和积极效果是：

本技术方案通过第一真空组件和温控组件可在浴油温控箱内模拟出真空高低温环境，确保被校准真空规处于相应的应用环境中，再通过与标准真空规同时测量真空标准室的压力，即可根据标准真空规的测量值进行对被校准真空规进行校准。

附图说明

图1为本申请实施例提供的采用浴油控温的真空传感器高低温工况校准装置的结构示意图；

图2为本申请实施例提供的采用浴油控温的真空传感器高低温工况校准装置的浴油控温箱的结构示意图。

图中所述文字标注表示为：100-浴油控温箱；110-被校准真空规；120-第一机械泵；130-手阀；140-浴油机组；150-筒体；151-浴油进口；152-浴油出口；160-上法兰；161-穿舱电连接器；162-抽气接口；170-下法兰；171-工装连接件；200-真空标准室；210-标准真空规；220-第二机械泵；230-插板阀；240-稳压室；241-隔板；250-分子泵；260-电磁阀；270-针阀。

具体实施方式