[发明专利]一种采用浴油控温的真空传感器高低温工况校准装置

权利要求书

1.一种采用浴油控温的真空传感器高低温工况校准装置，其特征在于，包括浴油控温箱（100）、真空标准室（200）和标准真空规（210）；所述浴油控温箱（100）分别与第一真空组件和温控组件连接，用于安装被校准真空规（110）；所述被校准真空规（110）和标准真空规（210）的探测头分别位于所述真空标准室（200）内；所述真空标准室（200）分别与第二真空组件和调压组件连接。

2.根据权利要求1所述的采用浴油控温的真空传感器高低温工况校准装置，其特征在于，所述第一真空组件包括第一机械泵（120）和手阀（130）；所述手阀（130）安装在所述第一机械泵（120）与浴油控温箱（100）之间。

3.根据权利要求1所述的采用浴油控温的真空传感器高低温工况校准装置，其特征在于，所述第二真空组件包括第二机械泵（220）、插板阀（230）和稳压室（240）；所述第二机械泵（220）与稳压室（240）连接；所述插板阀（230）连接在所述稳压室（240）与第二机械泵（220）之间；所述稳压室（240）与真空标准室（200）连接，对接处设有带孔的隔板（241）。

4.根据权利要求3所述的采用浴油控温的真空传感器高低温工况校准装置，其特征在于，还包括分子泵（250）；所述分子泵（250）串联在所述插板阀（230）与第二机械泵（220）之间；所述第二机械泵（220）与分子泵（250）之间还串联有电磁阀（260）。

5.根据权利要求1所述的采用浴油控温的真空传感器高低温工况校准装置，其特征在于所述中空夹层的筒体（150）；所述筒体（150）的两端分别安装有上法兰（160）和下法兰（170）；所述上法兰（160）上安装有穿舱电连接器（161）；所述下法兰（170）上安装有工装连接件（171）。

6.根据权利要求5所述的采用浴油控温的真空传感器高低温工况校准装置，其特征在于，所述温控组件包括浴油机组（140）；所述筒体（150）的侧壁上对应所述浴油机组（140）分别设有浴油进口（151）和浴油出口（152）。

7.根据权利要求5所述的采用浴油控温的真空传感器高低温工况校准装置，其特征在于，所述上法兰（160）上对应所述第一真空组件设有匹配的抽气接口（162）。

8.根据权利要求1所述的采用浴油控温的真空传感器高低温工况校准装置，其特征在于，所述调压组件包括针阀（270）；所述针阀（270）安装在所述真空标准室（200）上，用于调节所述真空标准室（200）内的压力。