[发明专利]气体传感器的制造方法、声表面波微离心装置及气体传感器

说明书

本申请实施例公开了一种气体传感器的制造方法、声表面波微离心装置及气体传感器。其中，该气体传感器的制造方法包括提供一声表面波微离心装置，所述声表面波微离心装置包括一微型反应池，所述微型反应池中包括含有多层MXene材料的溶液；对所述多层MXene材料进行剥离，得到单层MXene材料；提供一半导体气体传感组件，并将所述半导体气体传感组件的指条敏感区反扣于所述微型反应池上；利用声学流旋涂法将所述单层MXene材料涂覆于所述半导体气体传感组件的指条敏感区，得到一气体传感器。经本方案制造的气体传感器可以有效提高对硫化氢检测的灵敏度。

技术领域

本申请涉及气体传感技术领域，尤其涉及一种气体传感器的制造方法、声表面波微离心装置及气体传感器。

背景技术

硫化氢是一种具有臭鸡蛋气味的有毒气体，含有强烈的神经毒素，对粘膜有强烈刺激作用，接触可导致如眼炎、化学性肺炎、肺水肿、上消化道不适，中枢神经系统等症状，吸入少量高浓度硫化氢可于短时间内致命。经研究表明，在急、慢性肺病发病过程中，硫化氢对肺功能损伤的可能起到重要作用。因此，呼气中的硫化氢浓度对人体炎症及相关疾病的诊断可以起到关键作用。

然而，传统的气体传感器对硫化氢的检测不仅要求严苛，并且灵敏度不高。

发明内容

本申请实施例提供了一种气体传感器的制造方法、声表面波微离心装置及气体传感器，可以提高气体传感器对硫化氢检测的灵敏度。

第一方面，本申请实施例提供了一种气体传感器的制造方法，包括：

提供一声表面波微离心装置，所述声表面波微离心装置包括一微型反应池，所述微型反应池中包括含有多层MXene材料的溶液；

对所述多层MXene材料进行剥离，得到单层MXene材料；

提供一半导体气体传感组件，并将所述半导体气体传感组件的指条敏感区反扣于所述微型反应池上；

利用声学流旋涂法将所述单层MXene材料涂覆于所述半导体气体传感组件的指条敏感区，得到一气体传感器。

在本申请实施例提供的气体传感器的制造方法中，所述对所述多层MXene材料进行剥离，得到单层MXene材料，包括：

按照第一预设策略对所述微型反应池中的所述多层MXene材料施加第一声表面波，使得所述多层MXene材料剥离，得到所述单层MXene材料。

在本申请实施例提供的气体传感器的制造方法中，所述利用声学流旋涂法将所述单层MXene材料涂覆于所述半导体气体传感组件的指条敏感区，得到一气体传感器，包括：

按照第二预设策略对所述微型反应池中的所述单层MXene材料施加第二声表面波，使得所述单层MXene材料定向旋转，对所述半导体气体传感组件的指条敏感区进行涂覆，得到所述气体传感器。

在本申请实施例提供的气体传感器的制造方法中，所述声表面波微离心装置还包括一基板，所述基板上设置有至少一组叉指电极组，所述微型反应池设置于所述基板的中心位置，所述至少一组叉指电极组围绕所述微型反应池设置。

在本申请实施例提供的气体传感器的制造方法中，所述叉指电极组包括第一叉指电极、第二叉指电极、第三叉指电极和第四叉指电极，所述第一叉指电极和所述第二叉指电极关于所述微型反应池中心对称，所述第三叉指电极和第四叉指电极关于所述微型反应池中心对称。

在本申请实施例提供的气体传感器的制造方法中，所述微型反应池的材料为聚二甲基硅氧烷聚物。

第二方面，本申请实施例提供了一种声表面波微离心装置，包括：

基板；

反应池侧壁，所述反应池侧壁设置于所述基板上，所述反应池侧壁与所述基板结合形成微型反应池；