[发明专利]气体传感器的制造方法、声表面波微离心装置及气体传感器

权利要求书

1.一种气体传感器的制造方法，其特征在于，包括：

提供一声表面波微离心装置，所述声表面波微离心装置包括一微型反应池，所述微型反应池中包括含有多层MXene材料的溶液；

对所述多层MXene材料进行剥离，得到单层MXene材料；

提供一半导体气体传感组件，并将所述半导体气体传感组件的指条敏感区反扣于所述微型反应池上；

利用声学流旋涂法将所述单层MXene材料涂覆于所述半导体气体传感组件的指条敏感区，得到一气体传感器。

2.如权利要求1所述的气体传感器的制造方法，其特征在于，所述对所述多层MXene材料进行剥离，得到单层MXene材料，包括：

按照第一预设策略对所述微型反应池中的所述多层MXene材料施加第一声表面波，使得所述多层MXene材料剥离，得到所述单层MXene材料。

3.如权利要求1所述的气体传感器的制造方法，其特征在于，所述利用声学流旋涂法将所述单层MXene材料涂覆于所述半导体气体传感组件的指条敏感区，得到一气体传感器，包括：

按照第二预设策略对所述微型反应池中的所述单层MXene材料施加第二声表面波，使得所述单层MXene材料定向旋转，对所述半导体气体传感组件的指条敏感区进行涂覆，得到所述气体传感器。

4.如权利要求1所述的气体传感器的制造方法，其特征在于，所述声表面波微离心装置还包括一基板，所述基板上设置有至少一组叉指电极组，所述微型反应池设置于所述基板的中心位置，所述至少一组叉指电极组围绕所述微型反应池设置。

5.如权利要求4所述的气体传感器的制造方法，其特征在于，所述叉指电极组包括第一叉指电极、第二叉指电极、第三叉指电极和第四叉指电极，所述第一叉指电极和所述第二叉指电极关于所述微型反应池中心对称，所述第三叉指电极和第四叉指电极关于所述微型反应池中心对称。

6.如权利要求1-5任一项所述的气体传感器的制造方法，其特征在于，所述微型反应池的材料为聚二甲基硅氧烷聚物。

7.一种声表面波微离心装置，其特征在于，包括：

基板；

反应池侧壁，所述反应池侧壁设置于所述基板上，所述反应池侧壁与所述基板结合形成微型反应池；

至少一组叉指电极组，所述至少一组叉指电极组设置于所述基板上，所述至少一组叉指电极组围绕所述微型反应池设置。

8.如权利要求7所述的声表面波微离心装置，其特征在于，所述反应池侧壁的材料为聚二甲基硅氧烷聚物，所述微型反应池设置于所述基板的中心位置。

9.如权利要求8所述的声表面波微离心装置，其特征在于，所述叉指电极组包括第一叉指电极、第二叉指电极、第三叉指电极和第四叉指电极，所述第一叉指电极和所述第二叉指电极关于所述微型反应池中心对称，所述第三叉指电极和第四叉指电极关于所述微型反应池中心对称。

10.一种气体传感器，其特征在于，包括半导体气体传感组件，所述半导体气体传感组件包括一指条敏感区，所述指条敏感区涂覆有单层MXene材料。