[发明专利]层叠成型加压装置、层叠成型系统和层叠成型方法

说明书

课题在于提供能够对精度高的层叠成型品进行层叠成型、或在使用无机材料的含有率多的层叠膜的层叠成型品的层叠成型中也能够良好地层叠成型的层叠成型加压装置和层叠成型系统以及层叠成型方法。解决手段为一种在上盘(312)与下盘(314)之间对具备凹凸部(A1a)的被层叠材(A1)和层叠膜(A2)进行加压成型的层叠成型加压装置(3)，其中，在安装于前述上盘(312)或下盘(314)中的至少一个盘(312)、(314)的加压块(317)、(318)上，隔着工程塑料或热固性树脂的树脂膜(321)具备构成加压面(322a)、(325a)的金属薄板(322)、(32)，前述树脂膜(321)的树脂使用聚酰亚胺等。

技术领域

本发明涉及在上盘与下盘之间对具备凹凸部的被层叠材和层叠膜进行加压成型的层叠成型加压装置、层叠成型系统和层叠成型方法。

背景技术

作为在上盘与下盘之间对具备凹凸部的被层叠材和层叠膜进行加压成型的层叠成型加压装置，已知有专利文献1至专利文献4中记载的装置。专利文献1在真空层叠装置的后续工序中具备作为层叠成型加压装置的平坦化加压机。而且平坦化加压中，作为加压块的研磨板的表面粘贴有例如具有厚度1.5mm左右的由橡胶等构成的缓冲材，缓冲材的表面粘贴有厚度2mm左右的由不锈钢等构成的可弹性变形的镜面板。而且记载了成型时构成成型面的镜面板以下述方式进行作用：根据最初制品表面的凹凸发生弹性变形，然后由于缓冲材的弹性变形和镜面板的弹性变形，慢慢恢复为原本的平面。

此外，专利文献2与专利文献1同样地对在真空层叠装置的后续工序中作为层叠成型加压装置的平面加压装置进行了记载，并且在平面加压中的加压块的表面依次配置有缓冲材和挠性金属板这一方面也是共通的。此外，专利文献2中，关于缓冲材的材质，记载了氟系橡胶是特别优选的，但记载了也可以使用纸、塑料。

进一步，专利文献3记载了，在进行一次成型的真空层叠装置和进行二次成型的平面加压装置双方中，分别在热盘的膜状树脂材侧的各个面隔着缓冲材设置金属板状体，膜状树脂材的表面与该板状体抵接，将对其进行加压的弹性加压板粘接固定。而且，说明书第(0031)段记载了优选设置具有橡胶弹性等的缓冲材。

进一步，专利文献4中还记载了由第一真空加压装置和第二真空加压装置构成的真空加压设备，记载了第一真空加压装置的加压面具有充分的弹性，第二加压装置的加压面也可以由金属构件形成，作为弹性构件，也可以使用硬质橡胶等进行成型。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-120100号公报(权利要求1)、(0029)、(0035)、(图1)、(图5)

专利文献2：日本特开2004-122553号公报(权利要求1)、(0041)至(0044)、(图1)

专利文献3：日本特开2008-12918号公报(摘要)、(权利要求1)、(0030)、(0031)、(图1)、(图8)

专利文献4：日本特开2005-334902号公报(权利要求1)、(0018)、(0019)、(图1)

发明内容

发明所要解决的课题

而在近年来，关于层叠成型中使用的层叠膜，从通过膜表面的低粗糙度化提高与被层叠物的密合性、通过热膨胀率的降低防止与基板的剥离、提高绝缘性(减少介电损耗)降低含水率等目的出发，增加了SiO₂等无机材料的含有率的类型在不断增多。但其结果是存在下述问题：杨氏模量大的层叠膜增加，对层叠膜进行加热、加压时，熔融材料的流动性也比以往类型的层叠膜低。

此外，还存在如下等问题：如果针对该问题而使用以往的加压装置单单增大加压时的加压力，则如图5所示，因为缓冲材的弹性作用大，所以应力在加压面的与被层叠的端部对应的部分集中，前述端部附近的层叠膜的树脂材料流到外部而成型不良。