[发明专利]三维断层摄影检查装置及图像获取方法

说明书

本发明公开一种三维断层摄影检查装置及三维断层图像获取方法。所述三维断层摄影检查装置包括：光干涉断层摄影部，其使测量光入射至检查对象物的上表面，并检测从检查对象物的上表面反射的反射光以获得物体正面图像，并使测量光入射至检查对象物的侧面，并检测从检查对象物的侧面反射的反射光以获得物体侧面图像；镜反射体，其使从所述光干涉断层摄影部发出的测量光反射并入射至检查对象物的侧面，并使从所述检查对象物的侧面反射的反射光再反射并引导至所述光干涉断层摄影部；以及运算部，其合成由所述光干涉断层摄影部获得的物体正面图像和物体侧面图像以获得检查对象物的整体断层图像。

技术领域

本发明涉及一种三维断层摄影检查装置及图像获取方法，更详细地，涉及使用镜反射体合成多个图像以实现一个图像的三维断层摄影检查装置及三维断层图像获取方法。

背景技术

三维断层摄影检查装置是基于光干涉断层摄影(Optical coherencetomography；OCT)技术使近红外线透射物体，并检测从物体的各断层反射的微弱的信号(散射光)以对物体的内部进行断层摄影的装备。

三维断层摄影检查的测量原理如下(参照韩国专利公开第10-2015-0056713号、韩国专利10-2231835号等)。宽带光源(Broadband Light source)通过分束器(BeamSplitter)或耦合器被分为样品(Sample)方向和基准镜(Reference Mirror)方向，样品(Sample)方向的光源由电流镜(Galvano Mirror)并经过物镜而在由多个层构成的样品(物体)的各层中生成微细的反射光。反射光再通过物镜进入光学系统，并且通过分束器(BeamSplitter)或耦合器走向线阵相机(Line Camera)。此时，最先朝基准镜(ReferenceMirror)方向去的信号由镜(Mirror)反射而返回，并与经样品(Sample)而进入的反射光发生干涉而生成最终信号。这由线阵相机(Line Camera)捕获为信号。

光干涉断层摄影(OCT)使近红外线光透射至检查对象物，并检测从检查对象物的内部和各断层反射的反射光(散射光)，以对检查对象物的内部进行断层摄影。为了通过光干涉断层摄影(OCT)检查对象物，检查对象物(样品)应由能够使光透射和反射(散射)的物质构成。使用光干涉断层摄影(OCT)，可以以照射至检查对象物的光的波长程度的解像力获得检查对象物的断层图像，因而可以以亚微米单位的高分辨率获得检查对象物的表面和内部图像。

图1是示出通过通常的光干涉断层摄影(OCT)对三维检查对象物进行断层摄影的情况的图。如图1所示，为了通过光干涉断层摄影(OCT)对检查对象物5进行断层摄影，光干涉断层摄影(OCT)装置的光学系统，具体地，将作为入射光的测量光L1、L2、L3(下文中，根据需要，用L表示)照射至检查对象物5的物镜10和检查对象物5的上表面5a应大致平行地，即，水平地配置。当如立体的检查对象物5的左侧面5b或右侧面5c将检查面相对于物镜10的表面以规定角度倾斜地配置或垂直地配置时，由于测量光L无法相对于左侧面5b或右侧面5c垂直地入射，因而从左侧面5b或右侧面5c反射的反射光S2、S3(信号光)无法被反射至物镜10方向或变弱，并且无法清楚地获得检查对象物5的断层摄影图像。