[发明专利]三维断层摄影检查装置及图像获取方法

权利要求书

1.一种三维断层摄影检查装置，其特征在于，包括：

光干涉断层摄影部(20)，其使测量光(L1)入射至检查对象物(5)的上表面(5a)，并检测从检查对象物(5)的上表面(5a)反射的反射光(S1)以获取物体正面图像，并使测量光(L2、L3)入射至检查对象物(5)的侧面(5b、5c)，并检测从检查对象物(5)的侧面(5b、5c)反射的反射光(S2、S3)以获取物体侧面图像；

镜反射体(45)，其使从所述光干涉断层摄影部(20)发出的测量光(L2、L3)反射并入射至检查对象物(5)的侧面(5b、5c)，并使从所述检查对象物(4)的侧面(5b、5c)反射的反射光(S2、S3)再反射以引导至所述光干涉断层摄影部(20)；以及

运算部(50)，其合成由所述光干涉断层摄影部(20)获得的物体正面图像和物体侧面图像以获得检查对象物(5)的整体断层图像。

2.根据权利要求1所述的三维断层摄影检查装置，其特征在于，

所述检查对象物(5)为具有三维立体结构的物体，包括具有以彼此不同的角度配置的表面的至少两个摄影区域(5a、5b、5c)，所述光干涉断层摄影部(20)对检查对象物(5)的至少两个摄影区域进行断层摄影，并获得物体正面图像和物体侧面图像。

3.根据权利要求1所述的三维断层摄影检查装置，其特征在于，

所述镜反射体(45)与所述检查对象物(5)的倾斜面的倾斜角度相对应地设置，且测量光(L1、L2、L3)的入射角度(d)和/或反射光(S1、S2、S3)的反射角度设置为相对于检查对象物(5)的各摄影区域表面为45度至135度。

4.根据权利要求1所述的三维断层摄影检查装置，其特征在于，

至少一个所述光干涉断层摄影部(20)包括：

光源(22)，其产生入射置检查对象物(5)的内部的测量光(L)；

分束器(23)，其将所述测量光(L)分割为基准光(R)和测量光(L)，以将所述基准光(R)照射至基准镜(24)，并将所述测量光(L)照射至所述检查对象物(5)，并使从所述基准镜(24)反射的基准反射光(R1)和从扫描部(25)反射的信号反射光(S)重叠以生成干涉光(I)；

基准镜(24)，其反射由所述分束器(23)分割的所述基准光(R)以生成所述基准反射光(R1)；

扫描部(25)，其依次改变所述测量光(L)的反射角度，以二维地扫描所述检查对象物(5)的表面；以及

光检测器(26)，其检测所生成的所述干涉光(I)，并由检测到的所述干涉光(I)获得检查对象物(5)的图像。

5.根据权利要求1所述的三维断层摄影检查装置，其特征在于，

所述运算部(50)去除物体正面和侧面图像(6a、6b、6c)的噪声以提高所述图像(6a、6b、6c)的清晰度后，检测所述图像(6a、6b、6c)的边界。

6.一种三维断层图像获取方法，其特征在于，包括：

利用光干涉断层摄影部(20)使测量光(L1)入射至检查对象物(5)的上表面(5a)，并检测从检查对象物(5)的上表面(5a)反射的反射光(S1)以获得物体正面图像(6a)的步骤；

利用所述光干涉断层摄影部(20)使测量光(L2、L3)入射至检查对象物(5)的侧面(5b、5c)，并检测从检查对象物(5)的侧面(5b、5c)反射的反射光(S2、S3)以获得物体侧面图像(6b、6c)的步骤；以及

合成所述物体正面图像(6a)和物体侧面图像(6b、6c)，以获得检查对象物(5)的整体图像的步骤，

其中，从所述光干涉断层摄影部(20)发出的测量光(L2、L3)由镜反射体(45)反射并入射至检查对象物(5)的侧面(5b、5c)，从所述检查对象物(4)的侧面(5b、5c)反射的反射光(S2、S3)由镜反射体(45)再反射并入射至所述光干涉断层摄影部(20)。

7.根据权利要求6所述的三维断层图像获取方法，其特征在于，还包括：

去除所述物体正面和侧面图像(6a、6b、6c)的噪声以提高所述图像(6a、6b、6c)的清晰度后，检测所述图像(6a、6b、6c)的边界的步骤。