[发明专利]物料搬送系统、自动化天车、轨道断差检测装置及方法

说明书

本发明涉及一种物料搬送系统、自动化天车、轨道断差检测装置及方法，轨道断差检测装置包括震动检测仪。震动检测仪装设于自动化天车的车体上，震动检测仪用于与物料搬送系统的控制器电性连接，并用于获取自动化天车运行于待测轨道上时的震动幅度信息，并将自动化天车运行于待测轨道上的震动幅度信息传输给控制器。由于在自动化天车的车体上设置有震动检测仪，自动化天车运行于待测轨道上的过程中，震动检测仪能够同步感测震动幅度信息，并将震动幅度信息及时地传输给控制器，从而便能够有利于及时准确地检测出轨道断差缺陷，无需如传统技术中的人工手动检测，检测效率大大提高，自动化程度较高，维护成本大大较低。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，特别是涉及一种物料搬送系统、自动化天车、轨道断差检测装置及方法。

背景技术

传统的自动物料搬送系统(Automated Material Handling System，简称AMHS)包括自动化天车(Overhead Hoist Transfer，简称OHT)与轨道，自动化天车的行走轮沿着轨道来回移动以用于搬运晶圆。其中，自动化天车在轨道上运行一段时间，尤其是在使用3年后，相邻两个轨道的对接部位处容易出现断差缺陷，也即其中一个轨道的端部表面高度高于或低于另一个轨道。当自动化天车的走行轮经过存在断差缺陷的轨道时，走行轮会发生较大磨损而导致使用寿命大大降低。

一般地，需要维护人员定期对轨道的断差情况进行检查维护，维护人员通常都是站在移动设备上，手动采用直尺来比对检测相邻轨道的对接部位的平整度，并根据平整度目测判断断差结果。然而，自动物料搬送系统的运行距离往往较大，例如为100m、1000m、10000m以及20000m等等，即所需要的轨道的数量较多(通常都是成百上千)，也就是需要检查的相邻轨道的对接部位较多。即轨道的断差检查维护工作量较大，需要耗费较大的人力物力，维护成本较高。

发明内容

基于此，有必要克服现有技术的缺陷，提供一种物料搬送系统、自动化天车、轨道断差检测装置及方法，它能够及时准确地检测出轨道断差缺陷，检测效率较高，自动化程度较高，维护成本较低。

其技术方案如下：一种轨道断差检测装置，包括：震动检测仪，所述震动检测仪装设于自动化天车上，且与物料搬送系统的控制器电性连接，用于获取所述自动化天车运行于待测轨道上时的震动幅度信息，并将所述震动幅度信息传输给所述控制器。

上述的轨道断差检测装置，由于在自动化天车的车体上设置有震动检测仪，自动化天车运行于待测轨道上的过程中，震动检测仪能够同步感测震动幅度信息，并将震动幅度信息及时地传输给控制器，从而便能够有利于及时准确地检测出轨道断差缺陷，无需如传统技术中的人工手动检测，检测效率大大提高，自动化程度较高，维护成本大大较低。

在其中一个实施例中，所述轨道断差检测装置还包括至少一个测距仪；所述测距仪装设于所述自动化天车上并与所述控制器电性连接；所述测距仪用于获取所述测距仪到所述待测轨道表面的距离信息，并将所述距离信息传输给所述控制器。

在其中一个实施例中，所述震动检测仪装设于所述自动化天车的前侧走行衬板上；所述测距仪装设于所述自动化天车的后侧走行衬板上。

在其中一个实施例中，所述震动检测仪装设于所述自动化天车的后侧走行衬板、前变速箱、后变速箱或吊架上；所述测距仪装设于所述自动化天车的前侧走行衬板、前变速箱、后变速箱或吊架上。

在其中一个实施例中，所述测距仪为两个，两个所述测距仪的检测端与所述待测轨道的两个轨道梁一一对应设置。

在其中一个实施例中，所述震动检测仪在所述自动化天车上的装设位置分别到所述待测轨道的两个轨道梁的距离相同。

在其中一个实施例中，所述测距仪包括支架与设置于所述支架上的检测端；所述支架装设于所述自动化天车上，所述检测端正对于所述待测轨道的上表面设置。