[发明专利]基板的装载方法在审

专利信息
申请号: 202110767723.4 申请日: 2021-07-07
公开(公告)号: CN113921452A 公开(公告)日: 2022-01-11
发明(设计)人: 李东律;李京哲;赵成华 申请(专利权)人: 三星显示有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L27/32
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 姜长星;全振永
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 装载 方法
【说明书】:

公开一种基板的装载方法。本发明的基板的装载方法包括如下步骤:准备包括基板装载器和支撑销组件的基板装载装置,支撑销组件在基板装载器上布置为多个,并且各个支撑销组件配备有至少一个固定部、旋转部以及引导部,旋转部可旋转地结合于固定部而支撑基板,引导部布置在固定部和旋转部而引导旋转部的旋转;在基板装载器上安置基板;基板的下表面与所述旋转部上部接触;旋转部根据基板的负载而旋转;以及引导部工作而使基板被平坦地布置。

技术领域

本发明涉及基板的装载方法。

背景技术

通常,显示装置可以被利用到诸如智能电话、便携式计算机、数码相机、便携式摄像机、便携信息终端、笔记本电脑、平板个人计算机等移动装置或者诸如台式计算机、电视、户外广告板、展示用显示装置、汽车用仪表板、平视显示器(HUD:head up display)等电子装置。

诸如显示装置等电子装置的制造在各种工艺设备或者腔室中实现。在制造工艺中,为了固定基板而利用基板装载装置。

发明内容

然而,随着基板被大型化,在装载基板时会发生基板向下方下垂的现象。在工艺中,如果基板无法维持平坦,则可能发生工艺不良或者基板的破损等。

本发明的实施例期望提供一种能够将基板维持平坦的基板的装载方法。

根据本发明的一侧面的基板的装载方法,可以包括如下步骤:准备包括基板装载器和支撑销组件的基板装载装置,所述支撑销组件在所述基板装载器上布置为多个,并且各个所述支撑销组件配备有至少一个固定部、旋转部以及引导部,所述旋转部可旋转地结合于所述固定部而支撑基板,所述引导部布置在所述固定部和所述旋转部而引导所述旋转部的旋转;在所述基板装载器上安置基板;所述基板的下表面与所述旋转部上部接触;所述旋转部根据所述基板的负载而旋转;以及所述引导部工作而使所述基板被平坦地布置。

在一实施例中,所述固定部彼此相隔地布置为多个,所述旋转部能够在所述固定部之间旋转,所述旋转部可以根据所述基板的负载而倾斜地布置。

在一实施例中,在所述旋转部的上端侧部凸出有旋转销,所述旋转销可旋转地插入于多个所述固定部的结合槽,所述旋转部可以以所述旋转销为中心轴而旋转。

在一实施例中,所述引导部配备有:滑动槽,布置在所述固定部;移动销,从所述旋转部的侧部凸出,并且被插入到所述滑动槽而沿所述滑动槽移动,所述旋转部可以与所述移动销沿所述滑动槽移动的距离对应地倾斜地布置。

在一实施例中,所述滑动槽可以沿与所述基板下垂的方向垂直的方向延伸。

在一实施例中,所述滑动槽可以具有与所述旋转部旋转的角度对应的倾斜度。

在一实施例中,在所述旋转部的背面还配备有加压装置,所述加压装置包括:加压销;以及驱动部,向所述加压销提供驱动力,其中,所述加压装置可以根据所述基板的下垂程度将所述旋转部推向前方而使所述基板上升。

在一实施例中,在所述旋转部的上表面可以布置有与所述基板接触的摩擦垫。

在一实施例中,所述摩擦垫可以包括氟胶、硅胶和橡胶中的任意一个。

在一实施例中,在所述基板装载器布置有开口,所述支撑销组件沿布置于所述基板装载器的开口的周围而布置,彼此相面对的旋转部可以根据所述基板的负载而沿彼此远离的方向倾斜地布置。

根据本发明的一侧面的基板的装载方法能够最小化基板的下垂。据此,能够减小工艺不良率,并能够防止基板的破损。

除了上述内容以外,本发明的效果还能够参照附图从将在下面说明的内容导出,这是显而易见的。

附图说明

图1是示出根据本发明的一实施例的显示装置的立体图。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星显示有限公司,未经三星显示有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110767723.4/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top