[发明专利]一种光斑校正方法、系统、集成电路检测设备和存储介质

说明书

本发明提供的光斑校正方法、系统、集成电路检测设备和存储介质，通过获取检测光束通过光学元件后的光斑图像；根据光斑图像获取光斑形变的量化指标，光斑形变包括旋转、均匀性、平移和离焦中的至少一个；根据量化指标，调节光学元件的空间自由度，直至量化指标在预设阈值范围内。可见不跟发明实现了光斑形变成因的量化，并根据量化指标对光学元件进行空间自由度的调节，从而对光斑进行调节。基于此，本发明可以对光斑形变进行自动化调节，形成自动反馈，从而保证检测设备的光斑稳定性。

技术领域

本发明涉及光学检测技术领域，具体涉及一种光斑校正方法、系统、集成电路检测设备和存储介质。

背景技术

在集成电路制造中，需要通过光学检测，对晶圆或晶圆上的器件进行检测。光学检测设备中的照明模块通常根据检测需要结合整机架构进行开发。常用的光源为激光，需要通过光学器件进行整形或传播后形成光斑。

光斑在使用过程中，经常会出现光斑位置偏移，光斑旋转，光斑均匀性或光斑离焦等问题，从而导致检测装置的光斑异常或光斑形变，并出现检测结果准确性低的问题。

当出现上述光斑异常或光斑形变的情况时，多采用人工重新调节与校正的方式对检测设备进行光斑调节，自动化程度较低。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是现有检测设备的光斑校正自动化程度低。

根据第一方面，一种实施例中提供一种光斑校正方法，包括：

获取检测光束通过光学元件后的光斑图像；

根据光斑图像获取光斑形变的量化指标，光斑形变包括旋转、均匀性、平移和离焦中的至少一个；

根据量化指标，调节光学元件的空间自由度，直至量化指标在预设阈值范围内。

根据第二方面，一种实施例中提供一种光斑校正系统，包括：

光学元件，检测光束通过光学元件后形成光斑图像；

光强获取模块，用于获取光斑图像上多列检测点的光强表征量，其中，同一列的各个检测点沿光斑的宽度方向排布，各列检测点沿光斑的长度方向排布；

调节模块，用于调节光学元件的空间自由度；

以及处理模块，用于根据光斑图像获取光斑形变的量化指标，光斑形变包括旋转、均匀性、平移和离焦中的至少一个；

处理模块还用于根据量化指标控制调节模块调节光学元件的空间自由度，直至量化指标在预设阈值范围内。

根据第三方面，一种实施例中提供一种集成电路检测设备，包括：

光源，用于产生检测光束；

如上所述的光斑校正系统。

根据第四方面，一种实施例中提供一种计算机可读存储介质，介质上存储有程序，程序能够被处理器执行以实现如上所述的方法。

依据上述实施例的光斑校正方法、系统、集成电路检测设备和存储介质，通过获取检测光束通过光学元件后的光斑图像；根据光斑图像获取光斑形变的量化指标，光斑形变包括旋转、均匀性、平移和离焦中的至少一个；根据量化指标，调节光学元件的空间自由度，直至量化指标在预设阈值范围内。可见不跟发明实现了光斑形变成因的量化，并根据量化指标对光学元件进行空间自由度的调节，从而对光斑进行调节。基于此，本发明可以对光斑形变进行自动化调节，形成自动反馈，从而保证检测设备的光斑稳定性。

附图说明

图1为本发明提供的光斑校正系统一实施例的结构框图；

图2为本发明提供的光斑校正系统中，一实施例的一种光斑图像；