[发明专利]一种半导体环保清洗剂的制备方法

权利要求书

1.一种半导体环保清洗剂的制备方法，其特征在于：半导体环保清洗剂包括如下组分制成：按重量份数计，络合剂7-15份、酸度调节剂2-7份、软化剂2-7份、有机碱4-8份、无机碱10-20份、纯水45-60份；

所述半导体环保清洗剂的制备方法，包括以下步骤：

S1、备料预处理：分别称取络合剂7-15份、酸度调节剂2-7份、软化剂2-7份、有机碱4-8份、无机碱10-20份、纯水45-60份，将纯净水通过滤网过滤后放入水桶内，将络合剂、酸度调节剂、软化剂、有机碱和无机碱依次过滤后分别装入五个料桶内部，除去制备原料中的大的杂质；

S2、初步混合：将过滤后水桶内部的纯水加入到搅拌机的搅拌箱内部，之后将过滤处理后的有机碱和无机碱加入搅拌箱内部，初步搅拌5-10min进行混合处理；

S3、进一步混料：将过滤处理后的络合剂加入初步混合的溶液中，采用搅拌机继续进行搅拌，进一步搅拌20-30min，使得混合的溶液搅拌均匀至透明；

S4、最终混合配料：向进一步混料中处理后的透明混合物中依次加入过滤处理后的酸度调节剂以及软化剂，采用搅拌机将溶液搅拌30-45min，搅拌均匀至透明，半导体环保清洗剂成品制作完成；

S5、成品预处理：将最终混合配料制备的半导体环保清洗剂加入沉淀箱内部沉淀1-2h，将沉淀后的半导体环保清洗剂通过过滤网除杂；

S6、分装：将成品预处理的半导体环保清洗剂采用包装设备进行称重分装。

2.根据权利要求1所述的一种半导体环保清洗剂的制备方法，其特征在于：所述络合剂为乙二胺四乙酸、二亚乙基三胺五乙酸、柠檬酸、植酸、葡糖糖酸、山梨糖醇、木糖醇、乳酸、苹果酸中的任意一种或多种混合物，或者所述络合剂为钾盐、钠盐的任意一种或多种。

3.根据权利要求1所述的一种半导体环保清洗剂的制备方法，其特征在于：所述酸度调节剂为富马酸一钠、柠檬酸钠、柠檬酸钾、柠檬酸一钠、磷酸盐、硫酸钙、乳酸钙、乙酸钠中任意一种或者多种组合的酸度调节剂。

4.根据权利要求1所述的一种半导体环保清洗剂的制备方法，其特征在于：所述软化剂为乙二胺四乙酸四钠盐。

5.根据权利要求1所述的一种半导体环保清洗剂的制备方法，其特征在于：所述有机碱为四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四正丙基氢氧化铵、四正丁基氢氧化铵、三甲基苄基氢氧化铵、三甲基羟乙基氢氧化铵、二甲基二羟乙基氢氧化铵、二乙胺、三乙胺、单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、异丙醇胺、二异丙醇胺、三异丙醇胺中的任意一种或多种的混合物。

6.根据权利要求1所述的一种半导体环保清洗剂的制备方法，其特征在于：所述无机碱为碳酸钠、碳酸钾、重碳酸钠、偏硅酸钠、氢氧化钾中的任意一种或多种混合物。

7.根据权利要求1所述的一种半导体环保清洗剂的制备方法，其特征在于：所述S1中：络合剂、酸度调节剂、软化剂、有机碱、无机碱和纯水使用300-400目筛网进行过筛，且络合剂、酸度调节剂、软化剂、有机碱、无机碱和纯水均采用无菌的容器储放。

8.根据权利要求1所述的一种半导体环保清洗剂的制备方法，其特征在于：所述半导体环保清洗剂包括如下组分制成：按重量份数计，络合剂8份、酸度调节剂6份、软化剂6份、有机碱7份、无机碱20份、纯水53份。

9.根据权利要求1所述的一种半导体环保清洗剂的制备方法，其特征在于：所述半导体环保清洗剂包括如下组分制成：按重量份数计，络合剂7份、酸度调节剂2份、软化剂7份、有机碱4份、无机碱20份、纯水60份。