[发明专利]一种端面泵浦双模块双晶体高功率纳秒紫外激光器

说明书

本发明公开了一种端面泵浦双模块双晶体高功率纳秒紫外激光器，包括：一号光路装置和二号光路装置；所述一号光路装置包括一号泵浦源、一号耦合筒、一号二向色镜、一号激光晶体和一号全反镜；所述二号光路装置包括二号泵浦源、二号耦合筒、二号二向色镜、二号激光晶体、三倍频晶体、二倍频晶体和二号全反镜。本装置设计合理，调试简单、倍频效率高，且较大的模体积保证了基频光的高效输出。

技术领域

本发明涉及激光器技术领域，尤其是涉及一种端面泵浦双模块双晶体高功率纳秒紫外激光器。

背景技术

市场上现有的纳秒紫外高功率固体激光器，采用端面泵浦时，激光晶体内堆积的热量会造成热透镜效应，还可能导致晶体产生不可恢复的应力裂纹，限制了注入晶体的泵浦功率大小。采用键合晶体或特殊的晶体散热结构可以一定程度上改善这一问题，但会带来成本较高、结构复杂的问题。随着激光加工设备的不断升级换代，对纳秒紫外激光器的功率要求越来越高。因此，急需设计出一种可以解决上述技术问题的高功率纳秒紫外激光器。

发明内容

本发明的目的在于提供一种端面泵浦双模块双晶体高功率纳秒紫外激光器。

为实现上述目的，本发明采用以下内容：

一种端面泵浦双模块双晶体高功率纳秒紫外激光器，包括：一号光路装置和二号光路装置；

所述一号光路装置包括一号泵浦源、一号耦合筒、一号二向色镜、一号激光晶体和一号全反镜；在所述一号二向色镜的左侧设置一号耦合筒；在所述一号耦合筒的左侧设置一号泵浦源；在所述一号二向色镜的右侧设置一号激光晶体；在所述一号激光晶体的右侧设置一号全反镜；

所述二号光路装置包括二号泵浦源、二号耦合筒、二号二向色镜、二号激光晶体、三倍频晶体、二倍频晶体和二号全反镜；在所述二号二向色镜的左侧设置二号耦合筒；在所述二号耦合筒的左侧设置二号泵浦源；在所述二号二向色镜的右侧设置二号激光晶体；在所述二号激光晶体的右侧设置三倍频晶体；在所述三倍频晶体的右侧设置二倍频晶体；在所述二倍频晶体的右侧设置二号全反镜；所述二号二向色镜与一号二向色镜相对应，且在二号二向色镜和一号二向色镜之间设置有声光调制器；所述三倍频晶体的左侧端面加工为布儒斯特角用于不同波长的分光。

优选的是，所述一号全反镜和二号全反镜相同，且均为平面镜。

优选的是，所述一号二向色镜和二号二向色镜相同，且均为平凸镜或平面镜。

优选的是，所述一号泵浦源和二号泵浦源均为半导体二极管激光器。

优选的是，还包括冷却装置，在所述一号激光晶体和二号激光晶体上均设置冷却装置。

优选的是，所述冷却装置为水循环冷却装置。

本发明具有以下优点：

1、本设计腔形在激光晶体上具有大的模体积，从而获得较大的光束填充因子，进而保证高效的基频光输出。

2、本设计腔型在倍频晶体上具有较大的光束直径，可延长倍频晶体的使用寿命。

3、在三倍频一侧端面使用布儒斯特角输出，利用布儒斯特角的偏振输出特性，增加紫外波段激光的透过率的同时实现了三种波长激光的分束，简化了系统结构并延长了三倍频的使用寿命。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步详细的说明。

图1是本发明一种端面泵浦双模块双晶体高功率纳秒紫外激光器的结构示意图。

图中，各附图标记为：