[发明专利]一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片

说明书

本发明提供了一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片，包括光学石英玻璃和滤光膜。所述光学石英玻璃片为JGS2石英玻璃，所述滤光膜采用“空气|LHLHL...HLH|基片”的26层薄膜设计(H表示高折射率膜层，L表示低折射率膜层)。高折射率膜层采用HfO2，所述低折射率膜层采用SiO2。制备得到的滤光片可以在远紫外光(200～230nm)范围内透过率达75％以上，同时在235～265nm范围内截止，可以应用于KrCl、KrBr等准分子远紫外光源，提高其生物安全性，实现人机共存杀菌。

技术领域

本发明属于光学照明技术领域，具体涉及一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片。

背景技术

紫外光学发展迅速，被广泛应用于军事探测、生物工程、国防科技、工业生产等各个领域中，同时也是目前杀菌消毒的重要手段。特别是《新型冠状病毒感染的肺炎诊疗方案(试行第五版)》中指出病毒对紫外线敏感，紫外线应用于杀菌消毒具有环境友好，杀菌效率高等优点，目前普遍采用辐射254nm波长的低压汞灯作为紫外杀菌灯，但254nm能穿透皮肤角质层和人眼角膜，对人体皮肤和眼睛造成伤害。近期研究表明远紫外光(光谱范围200～230nm)能够有效杀菌消毒，却不会对人的眼睛和皮肤造成伤害，这一发现迅速卷起远紫外光(光谱范围200～230nm)研究热潮。KrCl准分子灯辐射出的谱带很窄(半宽度14nm)，大部分辐射能量集中在222nm，没有基态自吸收，不含汞，是远紫外光实际应用最广的光源，所以灯的功率密度可以做到很大222nm具有良好的安全性，但是KrCl准分子灯发射的光谱除了峰值波长为222nm的主波长外，还包括236nm和257nm波长附近两个强度非常小的次峰，尽管强度很低，但对应的皮肤和人眼光化学紫外伤害作用系数较大，还是会对眼睛和皮肤产生影响，因此KrCl准分子灯用作人机共存的杀菌光源时，必须采用滤光片来滤除长波(230～280nm)紫外辐射。本发明提出了一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片，可以在200～230nm有较高的透过率，同时滤除235～265nm范围内的辐射，对于提高KrCl准分体灯等远紫外光源的生物安全性，实现人机共存杀菌。

发明内容

针对现有技术中存在的上述问题，本发明提供了一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片，远紫外光(200～230nm)透过率达75％以上，同时在235～265nm范围内截止。

本发明提供的一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片，所述滤光片包括光学石英玻璃和滤光膜。所述光学石英玻璃片为JGS2石英玻璃，如图1所示，所述光学石英玻璃的远紫外光(200～230nm)透过率达80％以上。所述滤光膜采用“空气|LHLHL...HLH|基片”的26层薄膜设计。

具体的，H表示高折射率膜层，所述高折射率膜层采用HfO2，折射率为2.15，透明区从紫外衍射到红外(0.22～12μm)，化学、物理性能稳定，耐腐蚀性强。

具体的，L表示低折射率膜层，所述低折射率膜层采用SiO2，折射率为1.46，透明区一直延伸到真空紫外(0.18～8μm)，光吸收很小，膜层牢固，且抗磨耐腐蚀。

优选地，所述HfO2的质量分数为51％～55％。

优选地，单层所述高折射率膜层质量分数为3.5％～5.0％，单层所述低折射率膜层质量分数为2.3％～9.7％。

优选地，所述高折射率膜层厚度为28～40nm，所述低折射率膜层厚度为40～55nm。

相比于现有技术，本发明具有以下有益效果：

本发明公开的一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片，所述滤光片在JGS2石英玻璃上采用“空气|LHLHL...HLH|基片”的26层薄膜设计，得到远紫外光(200～230nm)透过率达75％以上，同时在235～265nm范围内截止的远紫外光高透滤光片，可以应用于KrCl、KrBr等准分子远紫外光源，提高其生物安全性，实现人机共存杀菌。

附图说明