[发明专利]一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片在审
| 申请号： | 202110744010.6 | 申请日： | 2021-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN113433608A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 徐池 | 申请（专利权）人： | 厦门中科关爱光电研究院有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28 |
| 代理公司： | 深圳市博锐专利事务所 44275 | 代理人： | 林栋 |
| 地址： | 361000 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 紫外光 200 230 nm 滤光 | ||
【权利要求书】：
1.一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片，其特征在于，所述滤光片包括光学石英玻璃和滤光膜。所述光学石英玻璃片为JGS2石英玻璃。所述滤光膜采用“空气|LHLHL...HLH|基片”的26层薄膜设计(H表示高折射率膜层，L表示低折射率膜层)。
2.根据权利要求1所述的一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片，其特征在于，所述高折射率膜层采用HfO2，所述低折射率膜层采用SiO2。
3.根据权利要求1所述的一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片，其特征在于，所述HfO2的质量分数为51％～55％，单层所述高折射率膜层质量分数为3.5％～5.0％，单层所述低折射率膜层质量分数为2.3％～9.7％。
4.根据权利要求1所述的一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片，其特征在于，所述高折射率膜层厚度为28～40nm，所述低折射率膜层厚度为40～55nm。
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