[发明专利]图像感测器

说明书

本发明提出一种图像感测器。图像感测器包括基底、彩色滤光单元以及网格结构，彩色滤光单元设置于基底上；网格结构设置于基底上，且围绕彩色滤光单元的每一个。网格结构包括：第一隔墙，设置于基底上，位于彩色滤光单元之间；以及第二隔墙，设置于第一隔墙的正上方，位于彩色滤光单元之间。第二隔墙的顶宽度小于第二隔墙的底宽度。

技术领域

本发明实施例涉及图像感测器及其形成方法，尤其涉及图像感测器的网格结构的配置。

背景技术

图像感测器，如互补式金属氧化物半导体图像感测器(complementary metaloxide semiconductor image sensor,CIS)，被广泛地运用在图像拍摄设备中，如数字静止图像相机、数字摄影相机以及其他类似设备。图像感测器的光感测单元可检测环境中的色彩变化，并可根据光感测单元接收到的光量产生信号电荷。此外，可传输并放大在光感测单元中所产生的信号电荷，从而获得图像信号。

基于业界需求，像素尺寸持续地缩小，而像素清晰度持续地提升。为了维持高性能，入射光线应在每个彩色滤光单元内汇聚，以达到有效的光接收，而不被相邻的彩色滤光单元的光线所干扰。每个彩色滤光单元通过网格结构区格化，其网格结构具有比彩色滤光单元更低的折射率。由于光线倾向往较高折射率介质的方向，网格结构可阻止潜在的光线干扰相邻的彩色滤光单元。然而，需要更多创新的方法设计网格结构以配合持续缩小尺寸的像素。

发明内容

本发明实施例的目的在于提出一种图像感测器，以解决上述至少一个问题。

在一实施例中，一种图像感测器包括：基底；彩色滤光单元，设置于基底上；以及网格结构，设置于基底上，且围绕彩色滤光单元的每一个。网格结构包括：第一隔墙，设置于基底上，位于彩色滤光单元之间；以及第二隔墙，设置于第一隔墙的正上方，位于彩色滤光单元之间。第二隔墙的顶宽度小于第二隔墙的底宽度。

在另一实施例中，一种图像感测器包括：基底；彩色滤光单元，设置于基底上；以及网格结构，设置于基底上，且围绕彩色滤光单元的每一个。网格结构包括：第一隔墙，相对于基底具有垂直侧面和基座宽度，设置于基底上，位于彩色滤光单元之间；第二隔墙，相对于基底具有倾斜侧面，设置于第一隔墙的正上方，位于彩色滤光单元之间；以及第三隔墙，具有第一宽度，设置于第二隔墙的正上方，位于彩色滤光单元之间，其中第一宽度小于基座宽度。

本发明实施例的有益效果在于，本公开实施例的网格结构可汇聚在每个彩色滤光单元内的入射光线于所对应的感测单元上，从而提升量子效率并消除串扰，在图像感测器中得到更优越的性能。

附图说明

以下将配合所附附图详述本公开实施例的各面向。应注意的是，依据在业界的标准做法，各种特征并未按照比例绘制。事实上，可任意地放大或缩小各种元件的尺寸，以清楚地表现出本公开实施例的特征。

图1是根据本公开的一些实施例，图像感测器的剖面示意图。

图2是根据本公开的其他实施例，图像感测器的剖面示意图。

图3是根据本公开的其他实施例，图像感测器的剖面示意图。

图4是根据本公开的一些实施例，两个图像感测器之间量子效率(quantumefficiency)曲线图的比较。

图5是根据本公开的一些实施例，图像感测器的剖面示意图。

图6是根据本公开的其他实施例，图像感测器的剖面示意图。

附图标记如下：

10:图像感测器

100:基底

102:感测单元

104:抗反射层

106:彩色滤光单元