[发明专利]图像感测器在审
| 申请号: | 202110733931.2 | 申请日: | 2021-06-30 |
| 公开(公告)号: | CN113903757A | 公开(公告)日: | 2022-01-07 |
| 发明(设计)人: | 黄光宇;杨文斐;陈皇任;陈浩民 | 申请(专利权)人: | 采钰科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
| 代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 任芸芸;郑特强 |
| 地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 图像 感测器 | ||
1.一种图像感测器,包括:
一基底;
多个彩色滤光单元,设置于该基底上;以及
一网格结构,设置于该基底上,且围绕多个所述彩色滤光单元的每一个,其中该网格结构包括:
一第一隔墙,设置于该基底上,位于多个所述彩色滤光单元之间;
一第二隔墙,设置于该第一隔墙的正上方,位于多个所述彩色滤光单元之间;以及
其中该第二隔墙的一顶宽度小于该第二隔墙的一底宽度。
2.如权利要求1所述的图像感测器,还包括:
多个感测单元,形成于该基底内;
一遮光结构,埋入于该网格结构内,其中该网格结构的一第一折射率介于1.0和1.5之间的范围;以及
多个微透镜,分别设置在多个所述彩色滤光单元上。
3.如权利要求1所述的图像感测器,还包括一第三隔墙,设置于该第二隔墙的正上方,位于多个所述彩色滤光单元之间,其中该第一隔墙和该第三隔墙的剖面为矩形,而该第二隔墙的剖面为梯形。
4.如权利要求3所述的图像感测器,其中该第一隔墙具有一基座宽度,而该第三隔墙具有一第一宽度,其中该基座宽度和该第一宽度在平行于该基底的横向方向测量,其中该第三隔墙的该第一宽度小于该第一隔墙的该基座宽度20%至60%,其中该第二隔墙的该底宽度等于该第一隔墙的该基座宽度,而该第二隔墙的该顶宽度等于该第三隔墙的该第一宽度。
5.如权利要求1所述的图像感测器,其中该第一隔墙的一第一高度低于该网格结构的一总高度60%至80%,且该第二隔墙的侧面相对于该基底具有20°至75°的一内角度。
6.如权利要求3所述的图像感测器,其中该第三隔墙的剖面为半椭圆形,或该第三隔墙的剖面具有一圆化侧面和一尖顶部,其中该尖顶部的顶角度小于该第二隔墙的该内角度。
7.如权利要求1所述的图像感测器,其中该网格结构还包括一或多个矩形隔墙和一或多个梯形隔墙,其中多个所述矩形隔墙和多个所述梯形隔墙交替设置于该基底上和多个所述彩色滤光单元之间,其中多个所述梯形隔墙的每一个具有一底宽度和一顶宽度,该顶宽度小于该底宽度20%至60%。
8.一种图像感测器,包括:
一基底;
多个彩色滤光单元,设置于该基底上;以及
一网格结构,设置于该基底上,且围绕多个所述彩色滤光单元的每一个,其中该网格结构包括:
一第一隔墙,相对于该基底具有垂直侧面和一基座宽度,设置于该基底上,位于多个所述彩色滤光单元之间;
一第二隔墙,相对于该基底具有一倾斜侧面,设置于该第一隔墙的正上方,位于多个所述彩色滤光单元之间;以及
一第三隔墙,具有一第一宽度,设置于该第二隔墙的正上方,位于多个所述彩色滤光单元之间,其中该第一宽度小于该基座宽度。
9.如权利要求8所述的图像感测器,其中该第一隔墙具有一第一折射率,而该第三隔墙具有一第二折射率,其中该第一折射率和该第二折射率不同,其中该第二隔墙具有该第一折射率或该第二折射率,其中该第一隔墙和该第三隔墙的剖面为矩形,而该第二隔墙的剖面为梯形。
10.如权利要求8所述的图像感测器,其中该第三隔墙的剖面为半椭圆形,或具有一圆化侧面和一尖顶部。
11.如权利要求9所述的图像感测器,其中该网格结构还包括一或多个矩形隔墙和一或多个梯形隔墙,其中多个所述矩形隔墙和多个所述梯形隔墙交替设置于该基底上和多个所述彩色滤光单元之间,其中多个所述矩形隔墙和多个所述梯形隔墙还包括一或多个折射率,不同于该第一折射率和该第二折射率,其中多个所述梯形隔墙的每一个具有一底宽度和一顶宽度,该顶宽度小于该底宽度20%至60%。
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