[发明专利]渗透剂及其制备方法、陶瓷件表面探伤检测方法在审
申请号: | 202110731434.9 | 申请日: | 2021-06-30 |
公开(公告)号: | CN113514474A | 公开(公告)日: | 2021-10-19 |
发明(设计)人: | 郭开龙;符雅丽;郑友山;王宏伟 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | G01N21/91 | 分类号: | G01N21/91 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;王婷 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 渗透剂 及其 制备 方法 陶瓷 表面 探伤 检测 | ||
本发明实施例提供一种渗透剂及其制备方法、陶瓷件表面探伤检测方法,渗透剂用于陶瓷件表面缺陷探伤检测,该渗透剂的组分包括荧光染料、轻油、石油烃混合物、矿物油和表面活性剂。本发明实施例提供的渗透剂及其制备方法、陶瓷件表面探伤检测方法的技术方案,可以显著提高荧光染料吸附效果以及对陶瓷件的渗透效果,同时可以提高荧光染料在陶瓷件上的渗透深度,从而可以提高检测结果准确性,以及扩大检测范围,优化了检测效果。
技术领域
本发明涉及半导体加工技术领域,具体地,涉及一种渗透剂及其制备方法、陶瓷件表面探伤检测方法。
背景技术
陶瓷材料具有耐高温、耐腐蚀、耐磨损、密度小等优良性能,在各种工程机械及精密作业中制成各种零部件以取代传统材料,应用前景非常广阔。但是,陶瓷材料在制作、使用过程中常常产生各种缺陷,影响陶瓷件的使用性能及产品寿命,从而限制了陶瓷件的应用。陶瓷材料的缺陷可分为:内部缺陷和表面缺陷,其中表面缺陷危害性最大。而且由于陶瓷缺陷极其微小,给陶瓷材料表面缺陷的探伤检测带来很大的难度。
目前常用的表面探伤检测方式是采用表面浸透检测方法,该方法是在被检测件表面上施涂含有荧光染料或者着色染料的渗透剂(例如品红),经过一定时间之后,渗透剂可以基于液体的毛细现象渗入被检测件表面的开口缺陷中;然后,去除被检测件表面多余的渗透剂,经过干燥后,再在被检测件表面施涂吸附介质(即,显像剂);显像剂会在毛细作用下吸引缺陷中的渗透剂,即,使渗透剂回渗到显像剂中。在指定的光源(黑光或白光)的照射下,缺陷处的渗透剂痕迹会在被检测件表面上以特定颜色(黄绿色荧光或鲜艳红色)显现出来,从而探测出被检测件表面上缺陷的形貌及分布状态。
目前应用最广的渗透剂是品红渗透剂,其主要成分包括:染料品红(Magenta)和荧光增白剂(Fluorescentbrightener)。请参阅图1,图1示出了一陶瓷试件在完成表面渗透检测方法之后,在黑光灯照射下的渗透效果,其中,该陶瓷试件为圆柱体,该圆柱体的直径为50mm,厚度为20mm。图1中示出的(a)图为陶瓷试件的正面示图,(b)图为陶瓷试件的侧面示图,(c)图为陶瓷试件的背面示图。由(a)图至(c)图可知,在采用品红渗透剂对上述陶瓷试件渗透两个小时之后,陶瓷试件的测试面上几乎没有荧光剂吸附,这是因为:荧光增白剂对紫外线稳定性较差,很容易受紫外线的影响,甚至会在一定的紫外线强度和暴露时间的条件下失效。并且,荧光增白剂对于陶瓷材料的吸附性较差,造成缺陷下的荧光效果不明显,其次品红渗透剂在陶瓷材料上的渗透性不佳,导致品红渗透剂整体检测效果不佳。
请参阅图2,图2示出了另一陶瓷试件在完成表面渗透检测方法之后,在黑光灯照射下的渗透效果,该陶瓷试件为立方体,该立方体的尺寸为:长×宽×高为100mm×100mm×20mm。图2中示出的(a)图至(d)图分别为该陶瓷试件的一侧面示图、正面示图、另一侧面示图和背面示图。由(a)图至(d)图可知,在采用品红渗透剂对上述陶瓷试件渗透两个小时之后,在陶瓷试件的各个表面上没有渗透印记,只有少许荧光斑点,这是因为:染料品红在陶瓷材料上的渗透性不佳,渗透深度较浅(30μm左右)。
由上可知,采用上述品红渗透剂进行陶瓷件表面缺陷探伤检测,缺陷检测效果较差,检测结果的准确性较低。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提出了一种渗透剂及其制备方法、陶瓷件表面探伤检测方法,其可以显著提高荧光染料吸附效果以及对陶瓷件的渗透效果,同时可以提高荧光染料在陶瓷件上的渗透深度,从而可以提高检测结果准确性,以及扩大检测范围,优化了检测效果。
为实现上述目的,本发明提供了一种渗透剂,用于陶瓷件表面缺陷探伤检测,所述渗透剂的组分包括荧光染料、轻油、石油烃混合物、矿物油和表面活性剂。
可选的,所述荧光染料的质量分数为1%-10%;所述轻油的质量分数为15%-30%;所述石油烃混合物的质量分数为15%-30%;所述矿物油的质量分数为20%-40%;所述表面活性剂的质量分数为5%-15%。
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