[发明专利]渗透剂及其制备方法、陶瓷件表面探伤检测方法在审
申请号: | 202110731434.9 | 申请日: | 2021-06-30 |
公开(公告)号: | CN113514474A | 公开(公告)日: | 2021-10-19 |
发明(设计)人: | 郭开龙;符雅丽;郑友山;王宏伟 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | G01N21/91 | 分类号: | G01N21/91 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;王婷 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 渗透剂 及其 制备 方法 陶瓷 表面 探伤 检测 | ||
1.一种渗透剂,用于陶瓷件表面缺陷探伤检测,其特征在于,所述渗透剂的组分包括荧光染料、轻油、石油烃混合物、矿物油和表面活性剂。
2.根据权利要求1所述的渗透剂,其特征在于,所述荧光染料的质量分数为1%-10%;所述轻油的质量分数为15%-30%;所述石油烃混合物的质量分数为15%-30%;所述矿物油的质量分数为20%-40%;所述表面活性剂的质量分数为5%-15%。
3.根据权利要求1或2所述的渗透剂,其特征在于,所述荧光染料包括还原红41。
4.根据权利要求1或2所述的渗透剂,其特征在于,所述轻油包括石脑油。
5.根据权利要求1或2所述的渗透剂,其特征在于,所述石油烃混合物包括二乙二醇丁醚。
6.根据权利要求1或2所述的渗透剂,其特征在于,所述矿物油包括液体石蜡。
7.根据权利要求1或2所述的渗透剂,其特征在于,所述表面活性剂包括非离子表面活性剂XL-90。
8.一种渗透剂的制备方法,其特征在于,应用于权利要求1-7任意一项所述的渗透剂的制备,所述制备方法包括:
S1、将石油烃混合物与荧光染料混合,并搅拌均匀,得到第一混合物,
S2、向所述第一混合物中加入轻油和矿物油,并在搅拌均匀后,加入表面活性剂,得到所述渗透剂。
9.根据权利要求8所述的渗透剂的制备方法,其特征在于,所述步骤S1中,搅拌处理时间为1.5h-2h,搅拌速率为30rad/min-50rad/min。
10.根据权利要求8所述的渗透剂的制备方法,其特征在于,所述步骤S2中,
搅拌处理时间为0.5h-1h,搅拌速率为30rad/min-50rad/min。
11.一种陶瓷件表面探伤检测方法,其特征在于,包括以下步骤:
S11、对陶瓷件进行清洗工艺,以去除所述陶瓷件表面上的污染物;
S12、采用权利要求1-7任意一项所述的渗透剂,对清洗后的所述陶瓷件进行渗透工艺;
S13、采用显像剂对渗透后的所述陶瓷件进行显像工艺,以在所述陶瓷件表面产生缺陷图形。
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