[发明专利]一种显示面板的制备方法、显示面板及显示装置

说明书

本发明实施例公开了一种显示面板的制备方法、显示面板及显示装置，显示面板的制备方法包括：提供驱动背板；在驱动背板上形成发光层；在发光层远离驱动背板的一侧形成薄膜封装层；薄膜封装层包括依次形成的第一无机层、第二无机层和第三无机层；第一无机层和第三无机层中的至少一层通过热原子层沉积方式和等离子体辅助原子层沉积方式交替循环沉积形成。本发明实施例提供的技术方案利用热原子层沉积方式和等离子体辅助原子层沉积方式交替循环沉积形成膜层时，原子层界面特性不同的特点，在保证有机发光材料和电极不受外界环境中水汽和氧气的侵蚀的同时，提高了薄膜封装层的透光率，以及显示器件的显示效果。

技术领域

本发明实施例涉及显示技术领域，尤其涉及一种显示面板的制备方法、显示面板及显示装置。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示器是一种自发光显示器，与液晶显示器(liquid crystal display，LCD)相比，OLED显示器不需要背光源，因此OLED显示器更为轻薄，此外OLED显示器还具有高亮度、低功耗、宽视角、高响应速度、宽使用温度范围等优点而越来越多地被应用于各种高性能显示领域当中。

现有技术中常使用薄膜封装的方法来保证有机发光材料和电极不受外界环境中水汽和氧气的侵蚀，薄膜封装包括层叠设置的无机层，一般采用原子层沉积(Atomic layerdeposition，ALD)、等离子体增强化学气相沉积法(Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition，PECVD)等设备叠加镀膜的方式形成，但是现有的薄膜封装存在透光率低的问题，影响了显示器件的显示效果。

发明内容

本发明实施例提供了一种显示面板的制备方法、显示面板及显示装置，以在保证有机发光材料和电极不受外界环境中水汽和氧气的侵蚀的同时，提高薄膜封装层的的透光率，保证显示器件的显示效果。

第一方面，本发明实施例提供了一种显示面板的制备方法，包括：

提供驱动背板；

在驱动背板上形成发光层，所述发光层位于所述驱动背板的一侧；

在所述发光层远离所述驱动背板的一侧形成薄膜封装层；所述薄膜封装层包括依次形成的第一无机层、第二无机层和第三无机层；其中，第一无机层和第三无机层中的至少一层通过热原子层沉积方式和等离子体辅助原子层沉积方式交替循环沉积形成。

可选的，所述第一无机层的材料包括氧化铝；

通过热原子层沉积方式和等离子体辅助原子层沉积方式交替沉积形成第一无机层包括：

以三甲基铝和水汽为反应前驱体，通过热原子层沉积方式形成第一无机层子层；

以三甲基铝和氧等离子体为反应前驱体，通过等离子体辅助原子层方式形成第二无机层子层；

交替循环形成多层的第一无机层子层和第二无机层子层，以形成所述第一无机层。

可选的，所述形成第一无机层子层之后，还包括：

通入氧等离子体处理第一无机层子层表面的离子键；

所述形成第二无机层子层之后，还包括：

通入氧等离子体处理第二无机层子层表面的离子键。

可选的，所述第三无机层的材料包括氧化铝；

通过热原子层沉积方式和等离子体辅助原子层沉积方式交替沉积形成第三无机层包括：

以三甲基铝和水汽为反应前驱体，通过热原子层沉积方式形成第三无机层子层；

以三甲基铝和氧等离子体为反应前驱体，通过等离子体辅助原子层方式形成第四无机层子层；