[发明专利]半导体结构及其制造方法在审
| 申请号: | 202110727861.X | 申请日: | 2021-06-29 |
| 公开(公告)号: | CN113506783A | 公开(公告)日: | 2021-10-15 |
| 发明(设计)人: | 吕文隆 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L23/498;H01L21/50 |
| 代理公司: | 北京植德律师事务所 11780 | 代理人: | 唐华东 |
| 地址: | 中国台湾高雄*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半导体 结构 及其 制造 方法 | ||
1.一种半导体结构,包括:
基板,具有通孔;
电子组件,设于所述通孔中,所述电子组件与所述通孔的局部壁面接触。
2.根据权利要求1所述的半导体结构,其中,所述局部壁面上具有凸起物,所述凸起物与所述电子组件接触。
3.根据权利要求1所述的半导体结构,其中,所述凸起部设有与所述基板的一表面过渡连接的斜面。
4.根据权利要求1所述的半导体结构,其中,所述半导体结构还包括:
介电层,包覆所述基板和所述电子组件,所述介电层具有相对的第一表面和第二表面。
5.根据权利要求4所述的半导体结构,其中,所述基板上设有基板线路层。
6.根据权利要求5所述的半导体结构,其中,所述半导体结构还包括:
第一线路层,设于所述第一表面上,所述第一线路层分别与所述基板线路层和所述电子组件电性连接。
7.根据权利要求6所述的半导体结构,其中,所述半导体结构还包括:
第一阻焊层,设于所述第一线路层上,所述第一阻焊层具有第一开孔,从所述第一开孔暴露出的第一线路层构成第一导电衬垫。
8.根据权利要求6所述的半导体结构,其中,所述第一线路层为重布线结构。
9.根据权利要求6所述的半导体结构,其中,所述半导体结构还包括:
第二线路层,设于所述第二表面上,所述第二线路层与所述第一线路层电性连接。
10.根据权利要求9所述的半导体结构,其中,所述半导体结构还包括:
第二阻焊层,设于所述第二线路层上,所述第二阻焊层具有第二开孔,从所述第二开孔暴露出的第二线路层构成第二导电衬垫。
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