[发明专利]半导体结构及其制造方法在审

专利信息
申请号: 202110727861.X 申请日: 2021-06-29
公开(公告)号: CN113506783A 公开(公告)日: 2021-10-15
发明(设计)人: 吕文隆 申请(专利权)人: 日月光半导体制造股份有限公司
主分类号: H01L23/488 分类号: H01L23/488;H01L23/498;H01L21/50
代理公司: 北京植德律师事务所 11780 代理人: 唐华东
地址: 中国台湾高雄*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 半导体 结构 及其 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种半导体结构,包括:

基板,具有通孔;

电子组件,设于所述通孔中,所述电子组件与所述通孔的局部壁面接触。

2.根据权利要求1所述的半导体结构,其中,所述局部壁面上具有凸起物,所述凸起物与所述电子组件接触。

3.根据权利要求1所述的半导体结构,其中,所述凸起部设有与所述基板的一表面过渡连接的斜面。

4.根据权利要求1所述的半导体结构,其中,所述半导体结构还包括:

介电层,包覆所述基板和所述电子组件,所述介电层具有相对的第一表面和第二表面。

5.根据权利要求4所述的半导体结构,其中,所述基板上设有基板线路层。

6.根据权利要求5所述的半导体结构,其中,所述半导体结构还包括:

第一线路层,设于所述第一表面上,所述第一线路层分别与所述基板线路层和所述电子组件电性连接。

7.根据权利要求6所述的半导体结构,其中,所述半导体结构还包括:

第一阻焊层,设于所述第一线路层上,所述第一阻焊层具有第一开孔,从所述第一开孔暴露出的第一线路层构成第一导电衬垫。

8.根据权利要求6所述的半导体结构,其中,所述第一线路层为重布线结构。

9.根据权利要求6所述的半导体结构,其中,所述半导体结构还包括:

第二线路层,设于所述第二表面上,所述第二线路层与所述第一线路层电性连接。

10.根据权利要求9所述的半导体结构,其中,所述半导体结构还包括:

第二阻焊层,设于所述第二线路层上,所述第二阻焊层具有第二开孔,从所述第二开孔暴露出的第二线路层构成第二导电衬垫。

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