[发明专利]一种基于半导体加工的多晶硅片单面制绒方法在审

专利信息
申请号: 202110720528.6 申请日: 2021-06-28
公开(公告)号: CN113493931A 公开(公告)日: 2021-10-12
发明(设计)人: 孙强 申请(专利权)人: 孙强
主分类号: C30B33/10 分类号: C30B33/10;C30B29/06;F26B21/00;F26B25/02;H01L21/306
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 114200 辽宁省鞍山*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 半导体 加工 多晶 硅片 单面 方法
【权利要求书】:

1.一种基于半导体加工的多晶硅片单面制绒方法,其特征在于:包括以下步骤:

S1、取用多晶硅片材料,并对多晶硅片的非制绒面旋涂光刻胶层作为掩膜层;

S2、取用以HF、HNO3为基础的酸腐蚀溶液对多晶硅片的制绒面进行制绒;

S3、制绒结束后,对制绒后的多晶硅片分别进行碱洗和酸洗,然后对制绒后的多晶硅片非制绒面上的掩膜层进行去除;

S4、水洗后,通过风干装置对多晶硅片进行风干处理。

2.根据权利要求1所述的一种基于半导体加工的多晶硅片单面制绒方法,其特征在于:所述S4中的风干装置包括风干底座(1),所述风干底座(1)的上端转动连接有密封罩(2),所述密封罩(2)的上端安装有风机(3),所述风机(3)的下端固定连接有排风管(4),所述排风管(4)的下端贯穿密封罩(2)的上端,并延伸至其内部,所述排风管(4)的下端转动连接有扩风管(5),所述密封罩(2)的内顶端安装有摆动气缸(6),所述摆动气缸(6)的输出端与扩风管(5)固定连接,所述风干底座(1)的上端固定连接有支撑柱,所述支撑柱的上端固定连接有收集箱(8),所述收集箱(8)的内底端固定连接有固定板(9),且固定板(9)的前后两端均转动连接有连接杆,所述收集箱(8)的上侧设有操作台(11),所述操作台(11)的下端与两个连接杆的上端固定连接,所述操作台(11)上端开凿有多个均匀分布的排水孔,所述操作台(11)的上端固定连接有色变检测片(10),所述操作台(11)的上端靠近左右两端处均固定连接有安装板(14),所述安装板(14)内设有夹具(13),所述操作台(11)的上侧设有多晶硅片本体(12),所述多晶硅片本体(12)的左右两端均与夹具(13)的内壁相接触,所述夹具(13)的上端与安装板(14)的内顶端之间固定连接有伸缩杆(15),所述夹具(13)的下端与安装板(14)的内底端之间设有缓冲机构,所述安装板(14)的内壁固定连接有弹性气囊(20),所述弹性气囊(20)内填充有空气,所述弹性气囊(20)的上端固定连接有L形管(21),且L形管(21)与弹性气囊(20)内部相连通,所述夹具(13)远离多晶硅片本体(12)的一端固定连接有挤压锤(19),所述挤压锤(19)与弹性气囊(20)相接触。

3.根据权利要求2所述的一种基于半导体加工的多晶硅片单面制绒方法,其特征在于:所述收集箱(8)的上端靠近左右两端处均固定连接有导气管(27),所述操作台(11)的下端与收集箱(8)的内底端之间固定连接有两个伸缩囊体(28),所述伸缩囊体(28)的内顶端和内底端均固定连接有弧形磁铁块(33),所述伸缩囊体(28)靠近导气管(27)的一端开凿有注气孔,所述注气孔内壁固定连接有鼓气管(29),所述鼓气管(29)远离伸缩囊体(28)的一端与导气管(27)固定连接,所述鼓气管(29)的内顶端固定连接有拉力绳(30),所述拉力绳(30)靠近伸缩囊体(28)的一端固定连接有鼓入球(31),所述鼓入球(31)的外端与鼓气管(29)的内壁相接触,所述鼓气管(29)远离导气管(27)的一端固定连接有绝磁囊体(32),所述鼓入球(31)的外端与绝磁囊体(32)内壁相接触,所述绝磁囊体(32)内填充有Fe-Ni合金粉末,且Ni的含量为80%。

4.根据权利要求2所述的一种基于半导体加工的多晶硅片单面制绒方法,其特征在于:所述扩风管(5)内侧壁之间固定连接有U形吸热套(22),所述U形吸热套(22)的内壁固定连接有隔膜(23),所述U形吸热套(22)与隔膜(23)之间填充有吸热流体,所述U形吸热套(22)外端固定连接有隔温囊体(24),所述隔温囊体(24)内填充有二氧化碳气体,所述扩风管(5)的左右两端内壁均固定连接有吊绳(25),所述吊绳(25)的下端固定连接有弹性球(26)。

5.根据权利要求2所述的一种基于半导体加工的多晶硅片单面制绒方法,其特征在于:所述缓冲机构包括直筒(17),所述直筒(17)下端与安装板(14)的内底端固定连接,所述直筒(17)内滑动连接有活塞(18),所述活塞(18)的下端与安装板(14)的内底端之间固定连接有弹簧,所述活塞(18)的上端固定连接有活动杆(16),所述直筒(17)的内顶端开凿有通孔,所述活动杆(16)的上端穿过通孔与夹具(13)的下端固定连接。

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