[发明专利]一种复合膜层用BOE蚀刻液在审
| 申请号： | 202110709036.7 | 申请日： | 2021-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN113429974A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 戈烨铭;何珂;汤晓春 | 申请（专利权）人： | 江阴润玛电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06;C09K13/08 |
| 代理公司： | 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 32309 | 代理人： | 苏玲 |
| 地址： | 214423 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 复合 膜层用 boe 蚀刻 | ||
【权利要求书】：
1.一种复合膜层用BOE蚀刻液，其特征在于：按照质量百分比包括以下组分：
氢氟酸0.5％～ 2％、氟化铵25％～30％、添加剂0.004%~0.01%、超纯水67.99％～74.496%，其中添加剂为正辛酸。
2.根据权利要求1所述的复合膜层用BOE蚀刻液，其特征在于：所述添加剂为0.004%。
3.根据权利要求1所述的复合膜层用BOE蚀刻液，其特征在于：所述氢氟酸的纯度等级为UPS级。
4.根据权利要求1所述的复合膜层用BOE蚀刻液，其特征在于：所述氟化铵的纯度等级为UP级。
5.根据权利要求1所述的复合膜层用 BOE蚀刻液，其特征在于：所述超纯水的电阻不低于15MΩ·cm，超纯水中的盐含量不高于0.2mg/L。
6.根据权利要求1所述的复合膜层用BOE蚀刻液，其特征在于：所述BOE蚀刻液的pH为3~5。
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