[发明专利]渗透过程检测设备与检测方法

说明书

本发明涉及一种渗透过程检测设备与检测方法。渗透过程检测设备包括：检测腔，检测腔包括相互连通的第一腔体与第二腔体，第一腔体与第二腔体之间形成第二样品放置区；进气腔，进气腔与第一腔体连通；出气腔，出气腔与第二腔体连通；称重组件，称重组件伸入第一腔体内，称重组件上设有第一样品放置区；红外组件，红外组件包括光源、入射通道、出射通道与光谱仪，入射通道、出射通道均与第二腔体连通，光源发出的入射光线经入射通道进入第二腔体并到达第二样品放置区，经第二样品反射后的出射光线经出射通道进入光谱仪。该检测设备能实现对薄膜样品的渗透的中间过程的检测，以便于进一步加深对于薄膜渗透过程的研究。

技术领域

本发明涉及薄膜渗透检测技术领域，特别是涉及渗透过程检测设备与检测方法。

背景技术

由于气体渗透所引起的失效，是一个具有普遍意义的重大工程科学问题，例如，使用封装膜对OLED器件进行封装时，要求封装膜具有较高的气体阻隔率，以免水蒸气等气体渗透入OLED器件内部，影响其使用性能。由此可见，对薄膜的渗透性能进行检测与研究非常重要。然而，在相关技术中，一些检测手段主要是针对薄膜渗透的稳态过程，对于其渗透的中间过程，以及在薄膜内部的反应过程机理等关注较少。

发明内容

基于此，本发明提出一种薄膜渗透过程检测设备，能够实现对薄膜样品的渗透的中间过程的检测，以便于进一步加深对于薄膜渗透过程的研究。

薄膜渗透过程检测设备，包括：

检测腔，所述检测腔包括相互连通的第一腔体与第二腔体，所述第一腔体与所述第二腔体之间形成第二样品放置区，所述第二样品放置区用于放置第二样品；

进气腔，所述进气腔与所述第一腔体连通；

出气腔，所述出气腔与所述第二腔体连通；

称重组件，所述称重组件伸入所述第一腔体内，所述称重组件上设有第一样品放置区，所述第一样品放置区用于放置第一样品；

红外组件，所述红外组件包括光源、入射通道、出射通道与光谱仪，所述入射通道、所述出射通道均与所述第二腔体连通，所述光源发出的入射光线经所述入射通道进入所述第二腔体并到达所述第二样品放置区，经第二样品反射后的出射光线经所述出射通道进入所述光谱仪。

在其中一个实施例中，所述称重组件为石英晶体微天平，所述石英晶体微天平的探头伸入所述第一腔体内。

在其中一个实施例中，所述探头包括凹槽，所述凹槽用于容纳所述第一样品。

在其中一个实施例中，所述检测腔包括朝外伸出的第一伸出部，所述第一伸出部的内部中空以形成第一通道，所述第一通道与所述第一腔体连通，所述探头穿过所述第一通道伸入所述第一腔体内。

在其中一个实施例中，所述红外组件还包括第一反射箱，所述第一反射箱内设置有第一透镜组，所述光源包括红外光源与激光光源，所述入射通道包括红外光入射通道与激光入射通道，所述红外光源发出的红外光经所述第一透镜组反射后经所述红外光入射通道进入所述第二腔体，所述激光光源发出的激光经所述第一透镜组反射后经所述激光入射通道进入所述第二腔体，所述红外光与所述激光到达所述第二样品放置区的位置重合。

在其中一个实施例中，所述红外组件还包括第二反射箱，所述第二反射箱内设置有第二透镜组，经所述第二样品反射后的出射光线经所述出射通道到达所述第二透镜组反射后进入所述光谱仪。

在其中一个实施例中，所述检测腔的侧壁上朝内伸出有环状的放置台，所述放置台形成所述第二样品放置区，所述放置台的一侧为所述第一腔体，另一侧为所述第二腔体。

在其中一个实施例中，所述检测腔上对应所述第二腔体所在区域内设置有观测窗。

在其中一个实施例中，所述检测腔上对应所述第二腔体所在区域连接有真空计。