[发明专利]渗透过程检测设备与检测方法

权利要求书

1.渗透过程检测设备，其特征在于，包括：

检测腔，所述检测腔包括相互连通的第一腔体与第二腔体，所述第一腔体与所述第二腔体之间形成第二样品放置区，所述第二样品放置区用于放置第二样品；

进气腔，所述进气腔与所述第一腔体连通；

出气腔，所述出气腔与所述第二腔体连通；

称重组件，所述称重组件伸入所述第一腔体内，所述称重组件上设有第一样品放置区，所述第一样品放置区用于放置第一样品；

红外组件，所述红外组件包括光源、第一反射箱、入射通道、出射通道与光谱仪，所述入射通道、所述出射通道均与所述第二腔体连通，所述光源发出的入射光线经所述入射通道进入所述第二腔体并到达所述第二样品放置区，经第二样品反射后的出射光线经所述出射通道进入所述光谱仪；

所述第一反射箱内设置有第一透镜组，所述光源包括红外光源与激光光源，所述入射通道包括红外光入射通道与激光入射通道，所述红外光源发出的红外光经所述第一透镜组反射后经所述红外光入射通道进入所述第二腔体，所述激光光源发出的激光经所述第一透镜组反射后经所述激光入射通道进入所述第二腔体，所述红外光与所述激光到达所述第二样品放置区的位置重合。

2.根据权利要求1所述的渗透过程检测设备，其特征在于，所述称重组件为石英晶体微天平，所述石英晶体微天平的探头伸入所述第一腔体内。

3.根据权利要求2所述的渗透过程检测设备，其特征在于，所述探头包括凹槽，所述凹槽用于容纳所述第一样品。

4.根据权利要求2所述的渗透过程检测设备，其特征在于，所述检测腔包括朝外伸出的第一伸出部，所述第一伸出部的内部中空以形成第一通道，所述第一通道与所述第一腔体连通，所述探头穿过所述第一通道伸入所述第一腔体内。

5.根据权利要求1所述的渗透过程检测设备，其特征在于，所述红外组件还包括第二反射箱，所述第二反射箱内设置有第二透镜组，经所述第二样品反射后的出射光线经所述出射通道到达所述第二透镜组反射后进入所述光谱仪。

6.根据权利要求1所述的渗透过程检测设备，其特征在于，所述检测腔的侧壁上朝内伸出有环状的放置台，所述放置台形成所述第二样品放置区，所述放置台的一侧为所述第一腔体，另一侧为所述第二腔体。

7.根据权利要求1所述的渗透过程检测设备，其特征在于，所述检测腔上对应所述第二腔体所在区域内设置有观测窗。

8.根据权利要求1所述的渗透过程检测设备，其特征在于，所述检测腔上对应所述第二腔体所在区域连接有真空计。

9.薄膜渗透过程检测方法，基于权利要求1-8任一项所述的渗透过程检测设备，其特征在于，包括如下步骤：

S10设置具有连通的第一腔体与第二腔体的检测腔，将称重组件伸入所述第一腔体内；

S20将第一样品设置于所述称重组件上，将第二样品设置于所述第一腔体与所述第二腔体之间；

S30设置光源与光谱仪，使光源发出的入射光线进入所述第二腔体并到达所述第二样品处，并在反射后形成反射光线；

S40使气体从所述第一腔体进入，并从所述第二腔体排出，在所述气体流经所述检测腔时，通过所述称重组件获取所述第一样品的增重，并通过所述光谱仪捕捉所述反射光线。