[发明专利]用于制造显示设备的装置

说明书

一种用于制造显示设备的装置包括：腔室；加热构件，设置在所述腔室内，以在所述腔室内提供热气氛，其中所述加热构件包括彼此面对的第一加热器和第二加热器；高度调节构件，包括设置在所述第一加热器与所述第二加热器之间的端部；以及驱动单元，驱动所述高度调节构件的所述端部向上或向下移动，使得所述高度调节构件的所述端部位于第一高度和第二高度之一处，所述第一高度和所述第二高度是所述第一加热器与所述第二加热器之间的不同高度。所述第一高度和所述第二高度中的每个高度不同于所述第一加热器的顶表面的高度，并且不同于所述第二加热器的面对所述第一加热器的所述顶表面的底表面的高度。

本申请要求于2020年6月26日提交的第10-2020-0078370号韩国专利申请的优先权以及由其产生的所有权益，该韩国专利申请的内容以其整体通过引用合并于此。

技术领域

本公开涉及一种用于制造显示设备的装置。

背景技术

随着多媒体技术的发展，显示设备的重要性已经稳步增加。因此，诸如液晶显示器(“LCD”)、有机发光显示器(“OLED”)等各种类型的显示设备最近已被广泛使用。

在显示设备中，自发光显示设备包括诸如有机发光二极管的自发光元件。自发光元件可以包括两个相对的电极和介于其间的发光层。在使用有机发光二极管作为自发光元件的情况下，来自两个电极的电子和空穴在发光层中重新组合以产生激子，激子从激发态转变到基态，从而发光。

制造有机发光二极管的工艺可以包括烘烤其上形成有多个薄膜的目标基板的工艺。这种烘烤工艺主要通过使用加热器将热施加到目标基板来执行。

发明内容

本公开的实施例提供一种用于制造显示设备的装置，所述装置能够均匀地热处理大面积基板并且调节工艺温度廓线。

一种用于制造显示设备的装置的实施例包括：腔室；加热构件，设置在所述腔室内部，以在所述腔室内部提供热气氛，其中所述加热构件包括彼此面对的第一加热器和第二加热器；高度调节构件，包括设置在所述第一加热器与所述第二加热器之间的端部；以及驱动单元，驱动所述高度调节构件的所述端部向上或向下移动，使得所述高度调节构件的所述端部位于第一高度和第二高度中的一个高度处，所述第一高度和所述第二高度是所述第一加热器和所述第二加热器之间的不同高度，其中所述第一高度和所述第二高度中的每个高度不同于所述第一加热器的顶表面的高度，并且不同于所述第二加热器的面对所述第一加热器的所述顶表面的底表面的高度。

一种用于制造显示设备的装置的实施例包括：腔室；加热构件，包括设置在所述腔室的下部的第一加热器和设置在所述腔室的上部的第二加热器；高度调节构件，支撑目标基板，其中所述高度调节构件的至少一部分设置在所述第一加热器与所述第二加热器之间；以及驱动单元，通过将所述高度调节构件升高或降低到预定高度来调节所述目标基板的高度，其中所述第一加热器的宽度和所述第二加热器的宽度中的每个宽度大于所述目标基板的宽度，并且所述第一加热器的侧表面和所述第二加热器的侧表面中的每个侧表面比所述目标基板的侧表面更向外突出。

在这样的实施例中，用于制造显示设备的装置可以在调节的工艺温度廓线下在大面积基板上执行均匀的热处理。

本公开的效果不限于上述效果，并且说明书中包括各种其他效果。

附图说明

通过参照附图详细描述本公开的实施例，本公开的以上和其他特征将变得更加明显，在附图中：

图1是示意性地示出根据实施例的制造装置的视图；

图2是示意性地示出腔室内部的热流的视图；

图3是示出根据实施例的其中目标基板布置在腔室的热平衡区中的场景的视图；

图4是示出根据实施例的根据腔室内部的温度而变化的热平衡位置的视图；