[发明专利]用于制造显示设备的装置在审
申请号: | 202110696433.5 | 申请日: | 2021-06-23 |
公开(公告)号: | CN113851392A | 公开(公告)日: | 2021-12-28 |
发明(设计)人: | 朴钟章;白锡淳;柳成勋 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/56;G02F1/133 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 刘钊;周艳玲 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 制造 显示 设备 装置 | ||
1.一种用于制造显示设备的装置,所述装置包括:
腔室;
加热构件,设置在所述腔室内部,以在所述腔室内部提供热气氛,其中所述加热构件包括彼此面对的第一加热器和第二加热器;
高度调节构件,包括设置在所述第一加热器与所述第二加热器之间的端部;以及
驱动单元,驱动所述高度调节构件的所述端部向上或向下移动,使得所述高度调节构件的所述端部位于第一高度和第二高度中的一个高度处,所述第一高度和所述第二高度是所述第一加热器与所述第二加热器之间的不同高度,
其中所述第一高度和所述第二高度中的每个高度不同于所述第一加热器的顶表面的高度,并且不同于所述第二加热器的面对所述第一加热器的所述顶表面的底表面的高度。
2.如权利要求1所述的装置,其中
目标基板被设置在所述高度调节构件的所述端部上,
所述目标基板与所述第一加热器和所述第二加热器分隔开,并且
所述目标基板的温度不同于所述第一加热器的温度和所述第二加热器的温度。
3.如权利要求1所述的装置,其中
保持在热均匀状态中的热平衡区位于所述第一加热器与所述第二加热器之间,并且
所述高度调节构件的位于所述第一高度和所述第二高度中的所述一个高度处的端部位于所述热平衡区内。
4.如权利要求2所述的装置,其中所述第一加热器的宽度和所述第二加热器的宽度中的每个宽度大于所述目标基板的宽度。
5.如权利要求1所述的装置,其中
所述第一加热器的宽度等于所述第二加热器的宽度,并且
所述第一加热器的侧表面和所述第二加热器的侧表面彼此对齐。
6.如权利要求1所述的装置,其中
所述第一加热器的温度从所述第一加热器的中心朝向边缘增大,并且
所述第二加热器的温度从所述第二加热器的中心朝向边缘增大。
7.一种用于制造显示设备的装置,所述装置包括:
腔室;
加热构件,包括设置在所述腔室的下部的第一加热器和设置在所述腔室的上部的第二加热器;
高度调节构件,支撑目标基板,其中所述高度调节构件的至少一部分设置在所述第一加热器与所述第二加热器之间;以及
驱动单元,通过将所述高度调节构件升高或降低到预定高度来调节所述目标基板的高度,
其中
所述第一加热器的宽度和所述第二加热器的宽度中的每个宽度大于所述目标基板的宽度,并且
所述第一加热器的侧表面和所述第二加热器的侧表面中的每个侧表面比所述目标基板的侧表面更向外突出。
8.如权利要求7所述的装置,其中
保持在热均匀状态中的热平衡区位于所述第一加热器与所述第二加热器之间,并且
所述目标基板设置在所述热平衡区中。
9.如权利要求7所述的装置,其中
所述第一加热器的温度从所述第一加热器的中心朝向边缘增大,并且
所述第二加热器的温度从所述第二加热器的中心朝向边缘增大。
10.如权利要求7所述的装置,其中所述第一加热器的面积和所述第二加热器的面积中的每个面积大于所述目标基板的面积。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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